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专利号: 2022215579197
申请人: 合肥长天化学技术有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 一般的物理或化学的方法或装置
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构,包括混搅筒主体(1),其特征在于:所述混搅筒主体(1)的下表面设置有出料管(2),所述出料管(2)的下端设置有中继管(3),所述中继管(3)的内部设有活塞板(4),所述活塞板(4)的右侧壁设置有连接杆(5),所述连接杆(5)的右端延伸至中继管(3)的外部并设有往复机构(6),所述出料管(2)和中继管(3)的内部分别设置有第一电磁阀(8)和第二电磁阀(9),所述中继管(3)的圆周外壁设有减震机构(7),所述第二电磁阀(9)和活塞板(4)分别位于出料管(2)的左侧和右侧,所述混搅筒主体(1)的左端为锥型筒结构。

2.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构,其特征在于:所述往复机构(6)包括安装载板(601),所述安装载板(601)设置在混搅筒主体(1)的圆周外壁,所述安装载板(601)的上表面设置有往复电机(602),所述往复电机(602)电机轴的下端贯穿安装载板(601)并设置有偏心轮(603),所述偏心轮(603)的外侧套设有联动框体(604),所述连接杆(5)的右端设置在联动框体(604)的外侧壁,所述连接杆(5)的外侧套设有导向架(605),所述导向架(605)设置在混搅筒主体(1)的下表面。

3.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构,其特征在于:所述减震机构(7)包括外置架(701),所述外置架(701)设置在混搅筒主体(1)的下表面,所述中继管(3)的圆周外壁设有内置架(702),所述内置架(702)的底部铰接有导向伸缩杆(703),且导向伸缩杆(703)阵列设有若干个,所述导向伸缩杆(703)的下端均铰接在外置架(701)的顶部,所述导向伸缩杆(703)的外侧套设有减震弹簧(704),所述减震弹簧(704)的两端分别设置在外置架(701)的顶部和内置架(702)的底部。

4.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构,其特征在于:所述混搅筒主体(1)的上表面设置有搅拌电机(10),所述搅拌电机(10)电机轴的下端贯穿混搅筒主体(1)顶部并设置有搅拌轴(11),所述搅拌轴(11)与混搅筒主体(1)内的底面转动连接,所述搅拌轴(11)的圆周外壁设置有搅拌叶片(12),所述混搅筒主体(1)的上表面设置有进料管(14),且搅拌叶片(12)和进料管(14)均设置有若干个。

5.根据权利要求4所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构,其特征在于:所述搅拌轴(11)的圆周外壁左右对称设置有刮料板(13),所述刮料板(13)为L型结构,所述混搅筒主体(1)内的底面及内侧壁均与刮料板(13)相抵。

6.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构,其特征在于:所述混搅筒主体(1)的下表面设置有支座(15),且支座(15)阵列设置有若干个。

7.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构,其特征在于:所述活塞板(4)的圆周外壁开设有安装槽,且安装槽的内部设置有橡胶环(16),所述橡胶环(16)与中继管(3)的内壁相抵。

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