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专利号: 2022224275858
申请人: 昆山富鑫铨精密机械有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2025-01-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于半导体反应腔室的防护条,包括腔室本体(1),其特征在于:所述腔室本体(1)的内部滑动连接有四个连接座(2),所述连接座(2)上接触有固定座(3),所述固定座(3)上固定连接有连接块(4),所述连接块(4)上固定连接有防护片(5),所述防护片(5)与连接座(2)接触,所述连接座(2)上接触有多个防护块(6),相邻两个所述防护块(6)之间相互接触,其中两个个所述防护块(6)与防护片(5)接触,所述连接座(2)上设置有调节机构(7),所述腔室本体(1)上设置有限位机构(8)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体反应腔室的防护条,其特征在于:所述调节机构(7)包括限位槽(71)、限位杆(72)、弹簧(73)、限位环(74)、凹槽(75)、凸块(76)、固定块(77),所述连接座(2)上开设有多个限位槽(71),所述限位槽(71)的内部滑动连接有限位杆(72),所述限位杆(72)与固定座(3)滑动连接,所述限位杆(72)的外侧设置有弹簧(73),所述限位杆(72)上固定连接有限位环(74),所述限位环(74)与固定座(3)接触,所述弹簧(73)的两端分别与固定座(3)及限位环(74)固定连接,所述连接座(2)上开设有凹槽(75),所述凹槽(75)的内部卡接有凸块(76),所述凸块(76)上固定连接有固定块(77),所述固定块(77)与连接座(2)滑动连接,所述固定块(77)与防护块(6)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体反应腔室的防护条,其特征在于:所述限位机构(8)包括滑槽(81)、滑块(82)、卡块(83)、卡槽(84),所述腔室本体(1)上开设有滑槽(81),所述滑槽(81)的内部滑动连接有滑块(82),所述滑块(82)与连接座(2)固定连接,所述滑块(82)上固定连接有卡块(83),所述卡块(83)与腔室本体(1)卡接。

4.根据权利要求2所述的一种用于半导体反应腔室的防护条,其特征在于:所述凸块

(76)与固定块(77)为一体式结构,所述凸块(76)与固定块(77)均为橡胶材质。

5.根据权利要求3所述的一种用于半导体反应腔室的防护条,其特征在于:所述腔室本体(1)上开设有卡槽(84),所述卡槽(84)的内部卡接有卡块(83)。

6.根据权利要求3所述的一种用于半导体反应腔室的防护条,其特征在于:所述滑块

(82)与卡块(83)为一体式结构,所述滑块(82)与卡块(83)均为橡胶材质。