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专利号: 2022216643190
申请人: 赣州科锐特净化科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 一般的物理或化学的方法或装置
更新日期:2025-01-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体处理用双介质过滤器,其特征在于:包括第一箱体(100)、第二箱体(200)和连接座(300),所述第二箱体(200)固定连接在所述第一箱体(100)的顶部左侧,所述连接座(300)插接在所述第二箱体(200)的顶部右侧中间,所述第一箱体(100)的内侧壁左侧之间固定连接有第一过滤组块(120),所述第一箱体(100)的顶部右侧固定连接有水泵(130),所述水泵(130)的输出端插接有第一连接管(140),且所述第一连接管(140)插接在所述第一箱体(100)的右侧壁下侧中间,所述水泵(130)的输入端插接有第二连接管(150),且所述第二连接管(150)插接在所述第二箱体(200)的右侧壁上侧中间,所述第二连接管(150)的末端固定连接有喷头(160),所述第二箱体(200)的左侧壁下侧插接有进气管(210),所述连接座(300)的顶端螺纹连接有出气壳体(310),所述出气壳体(310)的内侧壁中间之间固定连接有第二过滤组块(320);所述第二箱体(200)的内腔顶部左侧固定连接有隔板(220),所述隔板(220)的右侧壁下侧固定连接有横板(230)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体处理用双介质过滤器,其特征在于:所述第一箱体(100)的顶部左侧插接有导流管(110),且所述导流管(110)插接在所述第二箱体(200)的底部左侧。

3.根据权利要求1所述的一种半导体处理用双介质过滤器,其特征在于:所述第二箱体(200)的内腔右侧壁下侧和内腔底部右侧之间固定连接有导向板(240),所述导向板(240)采用不锈钢材质制成。

4.根据权利要求1所述的一种半导体处理用双介质过滤器,其特征在于:所述第二箱体(200)的前侧壁右上侧固定连接有控制面板(250),所述控制面板(250)与水泵(130)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体处理用双介质过滤器,其特征在于:所述出气壳体(310)的内侧壁上侧之间固定连接有防尘网(330),所述防尘网(330)采用铝合金材质制成。