1.一种活塞式阵列垫,其特征在于,包括底板(12)以及设置在底板(12)上的多个阵列模块,所述阵列模块包括内柱组件和外柱组件,所述内柱组件插设在外柱组件内,所述内柱组件的底部与外柱组件的底部之间通过弹性件支撑;或者所述内柱组件的底部与外柱组件的底部之间形成密封腔且通过气体支撑,所述内柱组件的顶部还设有上帽(2)。
2.根据权利要求1所述的一种活塞式阵列垫,其特征在于,所述外柱组件包括外柱(7)和外柱套(6),所述外柱(7)的下部与底板(12)固定,所述外柱套(6)设置在外柱(7)的上部,且限制内柱组件脱离外柱(7)。
3.根据权利要求2所述的一种活塞式阵列垫,其特征在于,所述外柱(7)为两端开口的空心管状结构,所述外柱(7)的下部插接有外柱座(8),所述外柱座(8)与底板(12)固定。
4.根据权利要求3所述的一种活塞式阵列垫,其特征在于,所述外柱座(8)的底部还插接有底座(10),所述底座(10)通过固定件(11)与底板(12)固定。
5.根据权利要求2或3所述的一种活塞式阵列垫,其特征在于,所述外柱(7)内还设有通气口(13),所述通气口(13)与外部连通,且当内柱组件与外柱组件通过气体支撑时,通气口封闭或者连接气压控制部件。
6.根据权利要求2所述的一种活塞式阵列垫,其特征在于,所述内柱组件包括内柱(3)和滑动塞(4),所述内柱(3)贯穿外柱套(6),所述滑动塞(4)位于外柱(7)内且连接在内柱(3)下部。
7.根据权利要求6所述的一种活塞式阵列垫,其特征在于,所述滑动塞(4)的外侧壁还套设有软圈(5),且软圈(5)与外柱(7)内壁接触。
8.根据权利要求6所述的一种活塞式阵列垫,其特征在于,所述内柱(3)的顶部还插接有上帽(2),所述上帽(2)上还卡接有顶盖(1)。
9.根据权利要求1所述的一种活塞式阵列垫,其特征在于,所述底板(12)上设有上盖板(14),且底板(12)与上盖板(14)之间形成空腔,所述上盖板(14)上还开设有多个供外柱组件插入的通孔,所述外柱组件的外壁上还设有限位凸块,且限位凸块与上盖板(14)下端面相抵。
10.根据权利要求1所述的一种活塞式阵列垫,其特征在于,所述弹性件为弹簧(9)、气杆、磁铁或者形变材料制成的支撑柱。