1.一种宽带光干涉的微观形貌测量方法，其特征在于包括以下步骤：步骤1：根据本发明设计微观形貌测量装置，测量装置具体使用流程是通过显微镜照明光源(1)发出宽带光，宽带光经过聚光镜(2)、孔径光阑(3)、准直扩束镜(4)后以平行光的形式出射，经分光棱镜(5)后，一束宽带光分成两束光，一束光经被测物(6)表面反射，另一束光经参考镜(7)反射，用压电陶瓷驱动器(8)调节两束光的光程差，通过显微物镜(9)会聚至接收装置CCD(10)的靶面上，记录显微视场的宽带光干涉条纹；

步骤2：利用压电陶瓷驱动器产生微小位移，并记录产生随机相移值δm的多幅宽带光干涉图，根据照明光源发出宽带光的光谱特性，相干长度、条纹对比度及包络曲线，得出其光强值表达式：其中，I0是背景光，M是移项图的序数，IM是包络曲线的振幅值，Δλ是光谱密度宽度，λ0是中心波长，δm是每幅移项干涉图的相移值，Z(x，y)是面形高度分布；

步骤3：重组干涉图，将每一幅随机移相宽带光干涉图重组成行向量，然后将这N幅移相T干涉图的行向量按照列组合成如下的p矩阵：P＝[X1，X2，X3…，XN] ，其中每一行都是每一幅移相干涉图重组得到的一维数据，其长度为Nx×Ny，Nx和Ny分别为移相干涉图x轴和y轴所占的像素点数，T代表矩阵的转置；

步骤4：获得背景分量mx，矩阵mx具有和矩阵p同样的维度，而矩阵mx中所有元素的值均一致，其是矩阵p中所有元素的平均值；

T

步骤5：通过矩阵p和矩阵mx计算得到协方差矩阵C＝(p‑mx)(p‑mx) ，其中上标T表示矩阵转置；

T

步骤6：协方差矩阵C可以如下式实现对角化：D＝UCU ，矩阵D为对角化协方差矩阵而矩阵U是一个正交变换的矩阵，其大小都为N×N；

步骤7：主成分分量K可以由矩阵U，矩阵p和矩阵mx得到：K＝U(p‑mx)，其中，矩阵K的第一列和第二列便分别代表了主成分的正交特征值，其分别为K1和K2；

步骤8：通过反正切函数求解压包相位：

步骤9：通过相位解包算法以及中心波长值λ0中恢复出测量的面形高度值。