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专利号: 2021112782086
申请人: 江西师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2023-12-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于力矩平衡的晶棒生长控制装置,包括坩埚(1)以及杠杆系统,其特征在于:杠杆系统包括工作台(3)和固定在工作台上的支座(4),支座(4)上枢接有杠杆(5),杠杆(5)的一悬臂端部固定有籽晶杆(6),籽晶杆悬置于坩埚上方,另一悬臂上设置有滑槽(51),滑槽上设置有配重滑块(7);

坩埚内料液的温度维持恒定值,所述配重滑块(7)、工作台(3)的位移时间曲线依据待生成的晶棒的形状设置,配重滑块(7)、工作台(3)的位移由预设的程序控制。

2.根据权利要求1所述的晶棒生长控制装置,其特征在于:在工作台(3)的上升速度存在变速时,所述滑槽(51)设置在杠杆(5)的两侧,配重滑块(7)与滑槽(51)的配合在垂直方向上存在限位的接触面。

3.根据权利要求1所述的晶棒生长控制装置,其特征在于:配重滑块(7)在牵引系统的牵引下滑动;

牵引系统包括系于配重滑块(7)两侧的无弹性的牵丝(8)以及固定在工作台上的第一定滑轮(9)、第二定滑轮(10)、放线轮(11)、收线轮(12);配重滑块(7)的一侧通过牵丝(8)绕过第一定滑轮(9)连接放线轮(11),另一侧通过第二定滑轮(10)连接至收线轮(12),所述放线轮(11)、收线轮(12)同步转动。

4.根据权利要求3所述的晶棒生长控制装置,其特征在于:所述工作台上设置张紧轮(13),张紧轮(13)可调节牵丝的张紧程度。

5.根据权利要求3所述的晶棒生长控制装置,其特征在于:第一定滑轮(9)和第二定滑轮(10)将作用在配重滑块上的牵丝导向成与杠杆平行。

6.根据权利要求3所述的晶棒生长控制装置,其特征在于:放线轮(11)、收线轮(12)的一端部通过链条连接,并且放线轮(11)或收线轮(12)连接在驱动电机上。

7.根据权利要求1所述的晶棒生长控制装置,其特征在于:工作台上固定有卡座(13),杠杆(5)设有滑槽的一侧端部处于卡座(13)内,卡座(13)的内部空间高度高于杠杆的高度。

8.根据权利要求2‑7任一条所述的晶棒生长控制装置,其特征在于:工作台(3)设置在转盘底座上;

在晶棒生长结束后,转盘底座转动带动杠杆系统和牵引系统整体转动,将晶棒转移至待卸放的区域。

9.根据权利要求8所述的晶棒生长控制装置,其特征在于:配重滑块(7)按预设程度位移结束后,牵引系统控制配重滑块(7)外移至杠杆最外端。

10.根据权利要求9所述的晶棒生长控制装置,其特征在于:还设置有控制电路,包括光源(15),光源(15)发出射向料液的光束,光束透过料液后照射在光敏电阻R1上,光敏电阻R1与电阻R2串联在恒定电压源与接地线之间,光敏电阻R1与电阻R2间的节点连接三极管P的基极,三极管P的集电极通过电阻R3连接恒定电压源、发射极通过电阻R4接地,集电极与接地作为输出;

输出触发工作台(3)被抬升使得晶棒底部与料液脱离接触,阻断晶棒继续生长,同时触发牵引系统拉动配重滑块(7)移动至杠杆的最外端。