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专利号: 2021112162488
申请人: 广西中科阿尔法科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 磨削;抛光
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆加工用磨边装置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上对称设有两个固定柱(2),两个所述固定柱(2)的另一侧固定连接设有固定板(3),所述固定板(3)的下侧固定连接设有控制中心(4),所述控制中心(4)的下侧固定连接设有转动杆(26),所述控制中心(4)下侧设有防护板(23),所述防护板(23)上侧设有转动孔(27),所述转动杆(26)贯穿于转动孔(27)设置,所述防护板(23)上侧固定连接设有限位杆(35),所述限位杆(35)的另一侧和固定板(3)固定连接设置,所述防护板(23)内侧设有磨刀(5),所述磨刀(5)内设有通孔(28),所述转动杆(26)贯穿于通孔(28)设置,所述转动杆(26)上设有卡位装置,所述底座(1)上侧固定连接设有夹板(6),所述夹板(6)的左侧固定连接设有多个凸起(7),所述底座(1)上侧固定连接设有控制板(8),所述控制板(8)位于夹板(6)的左侧设置,所述控制板(8)左侧设有多个控制孔(9),多个所述控制孔(9)内设有控制杆(10),所述控制杆(10)贯穿于控制孔(9)设置,所述控制板(8)外左侧固定连接设有移动块(12),所述移动块(12)的左侧固定连接设有第一弹簧(13),所述底座(1)上侧设有移动板(11),所述移动板(11)位于控制板(8)的左侧设置,所述第一弹簧(13)的另一侧和移动板(11)固定连接设置,所述底座(1)上设有移动板(11)的移动固定装置;

所述卡位装置包括在转动杆(26)下侧设置的连接槽(29),所述连接槽(29)内固定连接设有固定杆(32),所述固定杆(32)上滑动套设有两个连接板(30),两个所述连接板(30)之间通过多个第三弹簧(31)连接设置,两个所述连接板(30)贯穿于连接槽(29)设置,两个所述连接板(30)远离对方的一侧设有卡杆(33),所述卡杆(33)贯穿于连接槽(29)设置,所述通孔(28)内对称设有两个卡槽(34),所述卡杆(33)贯穿于卡槽(34)和卡槽(34)匹配设置;

所述防护板(23)侧壁固定连接设有水管(24),所述水管(24)贯穿于防护板(23)设置,所述水管(24)位于防护板(23)内侧固定连接设有喷头;

所述防护板(23)下侧设有两个直角板(25),两个所述直角板(25)上设有两个连接孔(38),两个所述连接孔(38)内设有螺纹杆(37),所述防护板(23)下侧设有四个螺纹孔(36),所述螺纹杆(37)贯穿于螺纹孔(36)和螺纹孔(36)匹配设置;

所述移动固定装置包括在底座(1)上侧设置的移动槽(14),所述移动槽(14)位于控制板(8)的左侧设置,所述移动槽(14)内设有第二齿条(18),所述第二齿条(18)下侧固定连接设有两个第二弹簧(19),两个所述第二弹簧(19)的另一侧和移动槽(14)固定连接设置,所述移动槽(14)内设有第一齿条(15),所述第一齿条(15)位于第二齿条(18)的上侧和第二齿条(18)啮合连接设置,所述第一齿条(15)远离第二齿条(18)的一侧固定连接设有连接杆(16),所述连接杆(16)贯穿于移动槽(14)和移动板(11)固定连接设置,所述第二齿条(18)的侧壁固定连接设有移动杆(20),所述移动杆(20)贯穿于移动槽(14)设置,所述移动板(11)左侧固定连接设有拉杆(17);

所述移动槽(14)内对称设有两个滑槽(21),两个所述滑槽(21)内滑动连接设有滑杆(22),所述滑杆(22)贯穿于滑槽(21)和第二齿条(18)固定连接设置。