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专利号: 2018110602496
申请人: 江苏英锐半导体有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 磨削;抛光
更新日期:2024-05-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆加工用切面抛光装置,包括工作台;其特征在于,还包括左支板(2)、右支板(3)、顶板(4)、气缸(5)和安装板(6),所述左支板(2)和右支板(3)的顶端分别与顶板(4)底端的左侧和右侧连接,左支板(2)和右支板(3)的底端分别与工作台(1)顶端的左侧和右侧连接,所述气缸(5)安装在顶板(4)的顶端,并在气缸(5)的底部输出端设置有伸缩杆(7),所述伸缩杆(7)的底端自顶板(4)的顶端穿过顶板(4)并与安装板(6)的顶端连接,所述安装板(6)的顶端安装有两组电机(8),并在两组电机(8)的底部输出端均设置有转轴(9),所述两组转轴(9)的底端自安装板(6)的顶端分别穿过安装板(6)至安装板(6)的下方,并在两组转轴(9)的底端分别设置有第一抛光轮(10)和第二抛光轮;还包括转盘(11)、旋转支柱(12)和固定装置,所述工作台(1)的顶端设置有安装槽,所述安装槽内固定安装有第一滚珠轴承(13),所述旋转支柱(12)的底端自工作台(1)的顶端插入至第一滚珠轴承(13)内部,旋转支柱(12)的顶端与转盘(11)的底端中部固定连接,所述固定装置包括第一支板(14)、第二支板(15)、第三支板(16)、支撑板(17)、两组推杆(18)、两组支撑弹簧(19)、螺纹管(20)和螺纹杆(21),所述第一支板(14)、第二支板(15)和第三支板(16)均安装在转盘(11)的顶端,并且第一支板(14)、第二支板(15)和第三支板(16)从后向前依次设置,并在第三支板(16)的中部设置有安装通孔,所述安装通孔内固定安装有第二滚珠轴承(22),所述螺纹管(20)的后端自第三支板(16)的前端穿过第二滚珠轴承(22)至第三支板(16)的后方,所述螺纹杆(21)的后端与支撑板(17)的前端中部铰接,螺纹杆(21)的前端插入并螺装至螺纹管(20)的后端内部,所述第二支板(15)的左部分和右部分均设置有前后贯通的穿孔,所述两组推杆(18)的前端分别穿过两组支撑弹簧(19)并分别与支撑板(17)的左端和右端铰接,两组推杆(18)的后端自第二支板(15)的前端分别穿过两组穿孔至第二支板(15)的后方,所述两组支撑弹簧(19)的前端分别与支撑板(17)后端的左侧和右侧连接,两组支撑弹簧(19)的后端分别与第二支板(15)前端的左侧和右侧连接,所述第一支板(14)前端的左侧和右侧均设置有固定槽(23),所述两组固定槽(23)分别位于两组推杆(18)的正后方,并且两组固定槽(23)分别位于第一抛光轮(10)和第二抛光轮的正下方。

2.如权利要求1所述的一种晶圆加工用切面抛光装置,其特征在于,所述两组推杆(18)的后端面上均设置有弧形凹槽(24),所述两组弧形凹槽(24)分别与两组固定槽(23)前后相对。

3.如权利要求2所述的一种晶圆加工用切面抛光装置,其特征在于,还包括定位块(25)和定位杆(26),所述定位块(25)固定安装在工作台(1)的顶端且位于转盘(11)的左侧,并在定位块(25)的内部设置有空腔,所述空腔内固定安装有限位板(27)和限位弹簧(28),所述限位弹簧(28)的左端和右端分别与空腔的左侧壁和限位板(27)的左端连接,定位块(25)的右端设置有与空腔相通的通孔,所述定位杆(26)的左端自定位块(25)的右端穿过限位孔伸入至空腔内并与限位板(27)的右端中部连接,所述转盘(11)的左端和右端分别设置有左定位槽和右定位槽(29),所述定位杆(26)的右端插入至左定位槽内。

4.如权利要求3所述的一种晶圆加工用切面抛光装置,其特征在于,还包括拉杆(30),所述定位块(25)的顶端设置有横向的条形孔(31),所述条形孔(31)与空腔相通,所述拉杆(30)的底端自定位板的顶端穿过条形孔(31)伸入至空腔内并与限位板(27)的顶端中部连接。

5.如权利要求4所述的一种晶圆加工用切面抛光装置,其特征在于,还包括PLC控制器(32),所述伸缩杆(7)与安装板(6)的连接处设置有压力传感器(33),所述压力传感器(33)、气缸(5)和两组电机(8)均与PLC控制器(32)电连接。

6.如权利要求5所述的一种晶圆加工用切面抛光装置,其特征在于,还包括两组限位杆(34),所述安装板(6)的左后端和右后端均设置有上下贯通的限位孔,所述两组限位杆(34)的顶端分别与顶板(4)底端的左后侧和右后侧连接,两组限位杆(34)的底端自安装板(6)的顶端分别穿过两组限位孔并分别与工作台(1)顶端的左后侧和右后侧连接。

7.如权利要求6所述的一种晶圆加工用切面抛光装置,其特征在于,所述两组固定槽(23)均为三角形结构,所述两组弧形凹槽(24)的槽面上均设置有橡胶板(35),所述橡胶板(35)为弧形结构,并在橡胶板(35)的后端设置有防滑纹。

8.如权利要求7所述的一种晶圆加工用切面抛光装置,其特征在于,所述两组螺纹管(20)的前端均设置有旋转把手(36)。