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专利号: 2021108067669
申请人: 苏州溢博伦光电仪器有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2025-06-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种机械式共振扫描边缘消隐器,其特征在于:包括与共振扫描器相位同步的多面体扫描器,分别与多面体扫描器同一镜面形成的第一光传输路径和第二光传输路径;所述第一光传输路径包括设置在多面体扫描器一侧的第一扫描透镜和可变尺寸的狭缝,所述狭缝覆盖在反射镜表面;所述狭缝的大小变化与共振扫描器的幅度变化同步,共振扫描器使扫描光束位于扫描线边缘时狭缝缩小;

所述第二光传输路径包括依次设置在多面体扫描器和激光器之间的1/4波片和偏振分束片;所述偏振分束片和共振扫描器之间形成第三光传输路径;

激光器发出线偏振激光依次穿过偏振光束片和1/4波片,经过多面体扫描器和第一扫描透镜聚焦传输至反射镜,聚焦在狭缝外的激光无法被反射,聚焦在狭缝内的激光束原路反射至偏振光束片;原路返回再次通过1/4波片的激光束的偏振方向与原来垂直时,偏振分束片将这些激光束按照第三光传输路径反射给共振扫描器。

2.根据权利要求1所述的机械式共振扫描边缘消隐器,其特征在于:所述多面体扫描器的驱动板连接有光电检测器;共振扫描器内部设有光电位置传感器,通过光电位置传感器使共振扫描器的驱动板在共振扫描器每次转向时输出一个脉冲给多面体扫描器的驱动板;

光电检测器用于检测多面体扫描器当前相位,多面体扫描器的驱动板驱动多面体扫描器在当前相位的基础上补偿多面体扫描器和共振扫描器之间的相位延迟,使多面体扫描器和共振扫描器相位同步。

3.根据权利要求2所述的机械式共振扫描边缘消隐器,其特征在于:狭缝为电控可调狭缝,电控可调狭缝与多面体扫描器的驱动板电连接,多面体扫描器的驱动板还用于控制电控可调狭缝缩小的时间点。

4.根据权利要求1所述的机械式共振扫描边缘消隐器,其特征在于:所述反射镜为高反射率反射镜,所述反射镜位于所述第一扫描透镜的焦平面处。

5.根据权利要求1所述的机械式共振扫描边缘消隐器,其特征在于:所述多面体扫描器的扫描速度为1‑1000K线/秒。

6.根据权利要求1所述的机械式共振扫描边缘消隐器,其特征在于:1/4波片的光轴与偏振分束片的透射方向成45度角。

7.根据权利要求1所述的机械式共振扫描边缘消隐器,其特征在于:第一扫描透镜的光轴穿过多面体扫描器与1/4波片光轴的交点,且第一扫描透镜的光轴平行于多面体扫描器的多边棱镜的X轴。