1.一种光驱动双轴光学扫描探针,其特征在于:它包括扫描微镜,微光电系统和硅光学平台,其中扫描微镜包括微驱动器、平面弹簧和可动镜片;微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连,平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连;每个扫描微镜包括1个可动镜片、4个平面弹簧和4个微驱动器,可动镜片与4个平面弹簧相连,每个平面弹簧与1个微驱动器相连;微光电系统包括单模光纤、自聚焦透镜、2片滤光片和2片光电池;所述的滤光片为窄带滤光片,用于从入射激光中过滤出2个不同波长的激光,并偏转90度投射在对应的光电池表面;2片光电池接收2种波长的驱动激光,并转换为用于驱动微驱动器的电信号;硅光学平台表面有金属线为一端的扫描微镜和另一端的光电池之间建立电气连接;硅光学平台用于校准和固定微光电系统,并为扫描微镜提供电气连接。
2.如权利要求1所述的一种光驱动双轴光学扫描探针,其特征在于:所述的微驱动器采用微加工技术制成,基于电热驱动原理,由多层材料组成,其中多层材料包括硅,二氧化硅,金属,金属氧化物。
3.如权利要求1所述的一种光驱动双轴光学扫描探针,其特征在于:所述的可动镜片的机械偏转角度为0-45度。
4.如权利要求1所述的一种光驱动双轴光学扫描探针,其特征在于:所述的平面弹簧采用微加工技术制成,由多层材料组成,其中多层材料包括硅,二氧化硅。
5.如权利要求1所述的一种光驱动双轴光学扫描探针,其特征在于:所述的可动镜片采用微加工技术制成,由多层材料组成,其中多层材料包括硅,二氧化硅,金属,金属氧化物,一面镀有高反射率镀层。
6.如权利要求1所述的一种光驱动双轴光学扫描探针,其特征在于:所述的光电池的敏感波长为300-1550纳米。
7.如权利要求1所述的一种光驱动双轴光学扫描探针,其特征在于:所述的硅光学平台采用微加工技术制成,表面刻有V型槽,表面有金属线为一端的扫描微镜和另一端的光电池之间建立电气连接。
8.如权利要求1所述的一种光驱动双轴光学扫描探针,其特征在于:所述的滤光片与入射激光的光轴夹角为40-50度。
9.如权利要求1所述的一种光驱动双轴光学扫描探针,其特征在于:所述的扫描微镜与入射激光的光轴夹角为40-50度。