1.一种晶圆覆膜装置,包括底箱,底箱侧壁上设置有送料孔,底箱上设置有用于放置晶圆的放置槽,放置槽外与其同心设置有环形的切割孔,底箱一侧铰接有盖体,其特征在于:还包括包边机构,所述盖体上竖直滑动设置有圆筒形的切刀,切刀能够驱动包边机构,切刀与盖体之间设置有切割弹簧,盖体内侧设置有圆柱形的压柱。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置,其特征在于:所述包边机构包括设置在所述放置槽槽底的吸气孔,吸气孔连通有吸气通道,吸气通道设置在所述底箱内,吸气通道连通有吸气机构。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆覆膜装置,其特征在于:所述吸气机构包括设置在底箱内的负压腔,负压腔与所述吸气通道连通,负压腔内滑动设置有活塞,底箱底部设置有可与切刀相抵的底板,底板与底箱之间连接有负压弹簧,底板两端延伸至切割孔下方,底板与所述活塞连接。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆覆膜装置,其特征在于:所述负压腔连通有圆台状的出气连接管,出气连接管的小径端与负压腔连通,出气连接管的大径端连通有出气管,出气连接管内滑动设置有用于密封出气连接管的密封板,密封板与出气连接管的小径端之间连接有弹力绳;吸气通道与负压腔之间连通有进气连接管,进气连接管的结构与出气连接管的结构相同,进气连接管的大径端和小径端分别与负压腔和吸气通道连通。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种晶圆覆膜装置,其特征在于:所述压柱外滑动套设有包边筒,包边筒与所述压柱之间连接有复位弹簧,所述切刀内侧设置有用于驱动包边筒移动的推板。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆覆膜装置,其特征在于:所述包边筒的底面与侧面之间导有圆角。