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专利号: 2021101705584
申请人: 广东工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-04-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种三硒化二铟纳米带的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1.在管式炉中,将硒源加热到220~360℃,将铟源加热到400~630℃;

所述硒源为硒粉,所述铟源为负载氧化铟的衬底;

S2.密封管式炉的腔体并抽真空后,以流量为20~80sccm的氩气为载气,将管式炉腔体压强恢复至常压,再升温至900~980℃,经过沉积、降温,得到所述三硒化二铟纳米带。

2.根据权利要求1所述制备方法,其特征在于,所述负载有氧化铟的衬底为ITO导电玻璃、负载氧化铟的石英玻璃或负载氧化铟的硅片。

3.根据权利要求2所述制备方法,其特征在于,所述负载氧化铟的石英玻璃或负载氧化铟的硅片,通过如下方法制得:

将氧化铟粉末分散于乙醇中,经超声处理后,涂覆于石英玻璃或硅片表面,干燥后即得到所述负载氧化铟的石英玻璃或负载氧化铟的硅片。

4.根据权利要求3所述制备方法,其特征在于,所述氧化铟粉末与石英玻璃或硅片的质量比为1:(1.5~4)。

5.根据权利要求1所述制备方法,其特征在于,S1中所述硒源的加热温度为325~340℃,铟源的加热温度为550~580℃。

6.根据权利要求1所述制备方法,其特征在于,S2中所述氩气的流量为50sccm。

7.根据权利要求1所述制备方法,其特征在于,S2中所述沉积为沉积3~10h。

8.一种三硒化二铟纳米带,其特征在于,根据权利要求1~7任一项所述制备方法制得。

9.根据权利要求8所述三硒化二铟纳米带,其特征在于,所述三硒化二铟纳米带的宽度为150~300nm,长度为10~30μm,厚度为25~35nm。

10.权利要求8所述三硒化二铟纳米带在制备纳米器件中的应用。