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专利号: 2020112635097
申请人: 苏州科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2026-04-02
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于WSe2/KTaO3范德华异质结的光电探测器的制备方法,其特征在于包括如下步骤:(1)采用机械剥离法将少层WSe2从块材WSe2上转移到单晶KTO表面;

(2)采用光刻工艺将一侧2/3面积的WSe2及同侧KTO衬底用光刻胶覆盖,其余部分暴露;

‑4 ‑4

(3)在2×10  ~ 6×10 mbar气压下,进行磁控溅射3~10分钟,在步骤(2)获得的样品表面沉积金;再去除光刻胶,制备金电极;

(4)采用光刻工艺将光刻胶覆盖于WSe2制备有金电极一侧2/3的面积及同侧KTO衬底;

‑6 ‑6 +

(5)在3×10 ~8×10 mbar气压下,用电压为200V~500V的Ar离子束照射暴露的WSe2及部分衬底5~15分钟,形成二维电子气2DEG;再经清洗,得到一种WSe2/2DEG范德华异质结的光电探测器。

2.按权利要求1制备方法得到的一种WSe2/2DEG范德华异质结的光电探测器。

3.根据权利要求2所述的一种WSe2/2DEG范德华异质结的光电探测器,其特征在于:所述的异质结在可见光范围内具有光电响应;在光照开/关状态下,所述异质结的响应时间小于

1秒。

4.根据权利要求2或3所述的一种WSe2/2DEG范德华异质结的光电探测器,其特征在于:4

在405纳米波长的光照条件下,所述的异质结开/关电流比达到10。

5.根据权利要求2或3所述的一种WSe2/2DEG范德华异质结的光电探测器,其特征在于:所述的异质结在不加偏置电压的条件下,光诱发感生电流。