1.一种基于WSe2/KTaO3范德华异质结的光电探测器的制备方法,其特征在于包括如下步骤:(1)采用机械剥离法将少层WSe2从块材WSe2上转移到单晶KTO表面;
(2)采用光刻工艺将一侧2/3面积的WSe2及同侧KTO衬底用光刻胶覆盖,其余部分暴露;
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(3)在2×10 ~ 6×10 mbar气压下,进行磁控溅射3~10分钟,在步骤(2)获得的样品表面沉积金;再去除光刻胶,制备金电极;
(4)采用光刻工艺将光刻胶覆盖于WSe2制备有金电极一侧2/3的面积及同侧KTO衬底;
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(5)在3×10 ~8×10 mbar气压下,用电压为200V~500V的Ar离子束照射暴露的WSe2及部分衬底5~15分钟,形成二维电子气2DEG;再经清洗,得到一种WSe2/2DEG范德华异质结的光电探测器。
2.按权利要求1制备方法得到的一种WSe2/2DEG范德华异质结的光电探测器。
3.根据权利要求2所述的一种WSe2/2DEG范德华异质结的光电探测器,其特征在于:所述的异质结在可见光范围内具有光电响应;在光照开/关状态下,所述异质结的响应时间小于
1秒。
4.根据权利要求2或3所述的一种WSe2/2DEG范德华异质结的光电探测器,其特征在于:4
在405纳米波长的光照条件下,所述的异质结开/关电流比达到10。
5.根据权利要求2或3所述的一种WSe2/2DEG范德华异质结的光电探测器,其特征在于:所述的异质结在不加偏置电压的条件下,光诱发感生电流。