1.一种SiC场限环终端结构参数确定方法，其特征在于，包括：S1、计算JBS场限环结构仿真时的基本参数S、K和W，其中，S为第1个场限环到主结的距离，K为场限环间距变化步长，W为耗尽区宽度；

S2、以第1个场限环到主结的距离S和相邻环间距之间的间隔k为自变量，得到44组S、k条件下与特征峰值电场强度点(x，y)对应的原始仿真数据；

S3、从44组原始仿真数据中随机挑选4组作为验证数据，40组数据作为训练数据；

S4、将40组训练数据进行多项式拟合，得到反映位置x与电场强度峰值y函数关系的多项式，以及40组S、k与40组对应的多项式系数a4、a3、a2、a1、a0；

S5、在MATLAB中采用多元线性回归的方法分别带入40组因变量a4、a3、a2、a1、a0和40组自变量S、k，分别得到多项式系数与自变量S、k的函数关系式；

S6、输入一组(S、k)，得到模型y＝f(x)，即反映y与x函数关系的多项式：

4 3 2

y＝a4x+a3x+a2x+a1x+a0；

S7、分别将4组验证数据样本的x序列值带入y＝f(x)预测4阶多项式中，即得到相应位置的峰值电场强度，以验证模型的有效性和精确性；

所述S1计算JBS场限环结构仿真时的基本参数S、K和W，包括：基于Silvaco TCAD平台进行仿真，并采用4H‑SiC肖特基二极管的最低击穿电压为650V进行元胞设计，假设终端效率为70％，将胞击穿电压 带入下式：

‑3 1.12

WD＝2.62×10 VB

20 ‑1.27

ND＝1.10×10 VB

16 ‑3

得到N型漂移区厚度和掺杂浓度：WD＝5.5240μm，ND＝1.8718×10 cm ，采取WD＝5.5μm，

16 ‑3

ND＝1.8×10 cm 进行仿真；

对于SiC中P+环的掺杂，Silvaco TCAD中进行仿真得到无场限环终端的主结边缘处的最大击穿电压为：BV＝320V；

利用平行平面结进行近似，假设电子和空穴的碰撞电离系数相等，电离积分的表达式简化为：在4H‑SiC中采用Baliga幂定理进行碰撞电离系数的近似：‑42 7

αBaliga(4H‑SiC)＝3.9×10 E结合平行平面结中的电场分布：

根据电离积分的表达式、碰撞电离系数的近似和电场分布，得到击穿电压与耗尽区宽度关系：将主结击穿电压BV＝320V，带入得：WP‑min＝Wp＝1.3370μm；

为具有普适性，场限环初始间距s的取值应满足s＜1.337μm，区域总长度为L，由场限环区域和部分主结边缘区域构成，选择场限环环数n＝10，L0＝L1＝5μm，L表示为：仿真得到场限环宽度W对于耐压和电场分布影响不大，固定为3μm，仿真中选择S的取值序列为：0.8，0.85，0.9，0.95，1，1.05，1.1，1.15，1.2，1.25，1.3μm；

K为场限环间距变化步长，满足Sn+1‑Sn＝k，仿真选取k的取值序列：0.06，0.08，0.10，

0.12μm。

2.根据权利要求1所述的SiC场限环终端结构参数确定方法，其特征在于：所述S4将40组训练数据进行多项式拟合，得到反映位置x与电场强度峰值y函数关系的多项式，包括：从40组S、k对应的原始数据中随机选出4组不同S、k条件下的原始数据x，y，采用1‑5阶多项式对其进行拟合，并计算不同阶数多项式的拟合误差；

根据计算的不同阶数多项式的拟合误差的相关系数，选择4阶多项式进行拟合，得到：

4 3 2

y＝a4x+a3x+a2x+a1x+a0

将每组S、k条件下对应的11对x，y的原始数据带入MATLAB中进行4阶多项式拟合，从而得到44个反映位置x与电场强度峰值y函数关系的多项式。

3.根据权利要求1所述的SiC场限环终端结构参数确定方法，其特征在于：所述S5在MATLAB中采用多元线性回归的方法分别带入40组因变量a4、a3、a2、a1、a0和40组自变量S、k，分别得到多项式系数与自变量S、k的函数关系式为：

4.根据权利要求1所述的SiC场限环终端结构参数确定方法，其特征在于：所述S6输入一组S、k，得到模型y＝f(x)，即反映y与x函数关系的多项式，包括：在MATLAB中计算多元线性回归拟合因变量a4、a3、a2、a1、a0与自变量S、k函数关系精度的拟合残差分布，分别得到a4、a3、a2、a1、a0的拟合残差分布；

根据a4、a3、a2、a1、a0的拟合残差分布，得到各项系数的拟合精确度均达到97.5％，故通过输入一组S、k，得到反映y与x函数关系的多项式：

4 3 2

y＝a4x+a3x+a2x+a1x+a0。

5.根据权利要求1所述的SiC场限环终端结构参数确定方法，其特征在于：所述S7分别将4组验证数据样本的x序列值带入y＝f(x)预测4阶多项式中，即得到相应位置的峰值电场强度，以验证模型的有效性和精确性，包括：将验证数据样本分别为(1.0μm，0.06μm)，(0.9μm，0.08μm)，(0.95μm，0.10μm)，(1.05μm，0.12μm)带入模型y＝f(x)中得到4阶多项式系数a4、a3、a2、a1、a0的预测值；将4组原始验证数据与预测值对比，以验证模型的有效性和精确性。