1.一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片流量流速的微阀，其特征在于：将PDMS、压电薄膜、玻璃集成一体，使用温度作为动力源，密封腔内的空气作为介质，调节PDMS薄膜的变形量，以改变微流控芯片通道的横截面积，具有体积小、控制精度高，灵敏度高，可实时反馈等优点。

2.根据权利要求1所述的一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片流量流速的微阀，其特征在于，包括驱动模块和传感调节模块。驱动模块由保温腔1、加热器2、空腔层3组成；传感调节模块包括温度薄膜传感器4、压电薄膜5以及PDMS薄膜6组成。初始状态时，阀门完全打开，通过电磁加热器使空腔层内部温度逐渐升高，其内部空气受热膨胀增加空腔层内部压强，对空腔层下方的压电薄膜以及PDMS薄膜产生压力使之变形，减小微流控芯片通道横截面积进而减小微流控芯片通道的流量。在停止加热以后，温度逐渐降低，空腔层内部的压强逐渐减少，PDMS薄膜逐渐恢复。

3.根据权利要求1所述的一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片流量流速的微阀，其特征在于，流量调节及其压电薄膜反馈方式如下：通过电磁加热器对空腔层进行加热，当温度足够高时空腔层内部压强：

其中：RG是气体常数；ΔT是空腔层内温度变化量；ΔV是空腔层内体积变化量；V0是空腔层内初始体积；vmol是常温常压下的气体摩尔体积；p0是空腔层内初始压强；P是空腔层内压强。PDMS薄膜产生的形变为：其中：t是膜片厚度；l是沟道宽度；VM是泊松比；EM是弹性模量；P是空腔层内部压强；ω是膜片挠度。通过压电薄膜反馈的电压为：其中：ω是膜片挠度；t1是压电体的厚度；LP是压电体的长度；d31是压电模量；c为常数(c＝0.37)。流量的大小为：Q＝vS

其中：Q是流量大小；v是流速；S是通道横截面积。根据压电薄膜反馈的电压，当实际流量与所需流量不符时，通过调节温度来改变通道的截面面积。