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专利号: 2020105515705
申请人: 段玲玲
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-05-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置,包括底座(1)与溶解桶(6),其特征在于,所述底座(1)的下端外表面固定安装有支架(2),所述支架(2)的下端活动安装有滚轮(3),所述底座(1)的上端固定安装有固定座(5),所述溶解桶(6)放置在固定座(5)的上端,所述底座(1)的上端位于固定座(5)的一侧的位置固定安装有安装座(7),所述安装座(7)的上端活动连接有立柱(8),所述立柱(8)的上端一侧固定连接有连接臂(9),所述连接臂(9)的一端固定连接有定位柱(10),所述定位柱(10)的下端活动连接有活动杆(11),所述活动杆(11)的下端固定安装有夹具(12),所述溶解桶(6)的材质为玻璃;

所述支架(2)的上端中间固定安装有支撑套管(13),所述支撑套管(13)的上端活动连接有连接套管(14),所述连接套管(14)的上端中间固定连接有安装杆(15),所述连接套管(14)的内部上端固定安装有阻尼垫(16),所述连接套管(14)的内部固定连接有减震弹簧(17),所述减震弹簧(17)的两端分别与支撑套管(13)和阻尼垫(16)固定连接,所述连接套管(14)通过减震弹簧(17)与支撑套管(13)活动连接;

所述固定座(5)的上端外表面开设有固定槽(18),所述固定槽(18)的内部填充有橡胶板(19),所述固定座(5)的上端位于固定槽(18)的四周的位置均固定安装有限位柱(20),所述限位柱(20)的数量为三组,三组所述限位柱(20)在固定座(5)的上端呈三角形分布,所述限位柱(20)的外表面固定安装有橡胶圈(21);

所述安装座(7)的内部固定安装有轴承(22),所述立柱(8)的下端位于安装座(7)的内部的位置固定连接有连接轴(23),所述连接轴(23)贯穿轴承(22)与安装座(7)活动连接,所述立柱(8)通过轴承(22)与安装座(7)活动连接,所述立柱(8)的外表面固定安装有连接座(24),所述连接座(24)呈筒状结构,所述安装座(7)的上端外表面开设有滑槽(25),所述连接座(24)的下端位于滑槽(25)的内部的位置活动安装有滚珠(26);

所述定位柱(10)的内部开设有伸缩槽(27),所述伸缩槽(27)的内部上方固定安装有固定板(28),所述固定板(28)的上端位于伸缩槽(27)的内部的位置固定安装有电机(29),所述电机(29)的外表面固定安装有接线盒(30),所述电机(29)的下端固定连接有丝杠(31),所述伸缩槽(27)的内壁下方固定安装有导轨(32),所述活动杆(11)的上端位于伸缩槽(27)的内部的位置固定连接有滑座(33),所述丝杠(31)贯穿滑座(33)并延伸至活动杆(11)的内部,所述活动杆(11)通过丝杠(31)与定位柱(10)活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置,其特征在于,所述底座(1)的前端外表面开设有检修门(4),所述检修门(4)的外表面固定连接有安装螺钉,安装螺钉的数量为四组。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置,其特征在于,所述滚轮(3)的数量为若干组,所述夹具(12)位于溶解桶(6)的内部。