1.一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置,包括读数头,其特征在于:还包括三角波反射镜,用于接收分光镜透射的激光束,以及反射镜反射的激光束,并将反射镜反射的激光束反射至聚光透镜;
所述读数头包括:
激光器,用于发射激光束;
分光镜,用于将激光器发射的激光束透射至三角波反射镜,以及反射至聚光透镜;
反射镜,用于接收三角波反射镜反射的激光束,并将三角波反射镜反射的激光束再次反射至三角波反射镜;
聚光透镜,用于接收分光镜、三角波反射镜反射的激光束,并将接收到的激光束透射至光电探测器;
光电探测器,用于接收聚光透镜透射的激光束;
处理器,用于检测光电探测器上产生的干涉现象,并记录读数头与三角波反射镜之间的相对移动位移。
2.根据权利要求1所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置,其特征在于:所述分光镜倾斜设置于三角波反射镜的上方,且与水平方向存在30度夹角;所述反射镜与分光镜相互平行。
3.根据权利要求2所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置,其特征在于:所述反射镜包括多个,每个反射镜用于接收三角波反射镜反射的激光束,并将接收到的激光束再次反射至三角波反射镜。
4.根据权利要求1所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置,其特征在于:所述三角波反射镜包括N个结构相同的反射结构,每个所述反射结构包括第一反射面、第二反射面,所述第一反射面或第二反射面与反射镜平行,且第一反射面与第二反射面之间存在120度夹角。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置,其特征在于:所述聚光透镜为凸透镜,且平行于水平方向设置。
6.根据权利要求5所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置,其特征在于:所述三角波反射镜、读数头均设置于壳体内,且三角波反射镜与壳体相对固定设置,以及读数头相对于壳体移动设置;或三角波反射镜与壳体相对移动设置,以及读数头相对于壳体固定设置。
7.根据权利要求1-6任一项所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置的使用方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤S1:将三角波反射镜固定设置于壳体内,并将读数头滑动设置于壳体内;
步骤S2:开启激光源,使用处理器检测光探测器上产生的干涉现象,在水平方向上移动读数头,使得光电探测器上产生的干涉现象为相长干涉/相消干涉;
步骤S3:再次在水平方向上移动读数头,直到光电探测器上产生第M个相长干涉/相消干涉,使用处理器记录本次读数头移动的位移量X;
步骤S4:根据读数头的位移量X,计算出激光束的光程差变化量,从而计算出激光束的波长。
8.根据权利要求7所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置的使用方法,其特征在于:所述步骤S1具体包括以下步骤:将激光源设置于壳体内,使得激光源发射的激光束与水平方向的夹角为150度;将分光镜、反射镜相互平行设置于壳体内,且分光镜、反射镜与水平方向的夹角为30度;将聚光透镜设置于反射镜远离三角波反射镜的一侧,并使得聚光透镜能接收到三角波反射镜、分光镜反射的激光束;将光电探测器设置于聚光透镜的焦点处,使得光电探测器上能接收到聚光透镜透射的两束激光束,并产生干涉现象。
9.根据权利要求1-6任一项所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置的使用方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤S1:或将三角波反射镜滑动设置于壳体内,并将读数头固定设置于壳体内;
步骤S2:开启激光源,使用处理器检测光探测器上产生的干涉现象,在水平方向上移动三角波反射镜,使得光电探测器上产生的干涉现象为相长干涉/相消干涉;
步骤S3:再次在水平方向上移动三角波反射镜,直到光电探测器上产生第M个相长干涉/相消干涉,使用处理器记录本次三角波反射镜移动的位移量X;
步骤S4:根据三角波反射镜的位移量X,计算出激光束的光程差变化量,从而计算出激光束的波长。
10.根据权利要求1-6任一项所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置的使用方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤S1:将三角波反射镜或读数头滑动设置于壳体内,并将读数头或三角波反射镜固定设置于壳体内;
步骤S2:开启激光源,使用处理器检测光探测器上产生的干涉现象,在竖直方向上移动三角波反射镜或读数头,使得光电探测器上产生的干涉现象为相长干涉/相消干涉;
步骤S3:再次在竖直方向上移动三角波反射镜或读数头,直到光电探测器上产生第M个相长干涉/相消干涉,使用处理器记录本次三角波反射镜移动的位移量X;
步骤S4:根据三角波反射镜或读数头的位移量X,计算出激光束的光程差变化量,从而计算出激光束的波长。