1.一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置,其特征在于:包括:
待测激光源,用于发射待测激光束;
分光镜,用于接收待测激光束,并将待测激光束反射/透射至反光镜,以及透射/反射至第二平面反射镜;
反光镜,用于接收分光镜反射/透射的待测激光束,并将接收到的待测激光束反射至第一平面反射镜;
第一平面反射镜,用于接收反光镜反射的待测激光束,并将接收到的待测激光束反射至透镜;
第二平面反射镜,与所述第一平面反射镜相对固定连接,用于接收分光镜透射/反射的待测激光束,并将接收到的待测激光束反射至透镜;
透镜,用于接收第一平面反射镜和第二平面反射镜反射的待测激光束,并将接收到的待测激光束透射至光电探测器;
光电探测器,用于接收透镜透射的待测激光束;
处理器,与光电探测器电连接,用于检测光电探测器上产生的干涉现象,并计算待测激光束的波长。
2.根据权利要求1所述的一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置,其特征在于:所述第一平面反射镜或第二平面反射镜连接有精密位移装置,用于带动第一平面反射镜和第二平面反射镜在第一平面反射镜和第二平面反射镜的水平方向或竖直方向上移动。
3.根据权利要求2所述的一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置,其特征在于:所述精密位移装置为无导轨的压电陶瓷电机。
4.根据权利要求1所述的一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置,其特征在于:所述透镜为凸透镜。
5.根据权利要求4所述的一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置,其特征在于:所述光电探测器设置于所述凸透镜的焦点处。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置,其特征在于:还包括壳体,所述利用干涉原理完成激光波长测量的装置设置于壳体内,且所述待测激光源、分光镜、反光镜、透镜、光电探测器、精密位移装置分别相对于壳体固定设置。
7.根据权利要求1所述的一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置,其特征在于:所述第一平面反射镜包括第一反射面,所述反光镜反射至第一平面反射镜的待测激光束射入所述第一反射面;所述第二平面反射镜包括第二反射面,所述分光镜透射/反射至第二平面反射镜的待测激光束射入所述第二反射面。
8.一种利用干涉原理完成激光波长测量的方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤S1:开启待测激光源,将待测激光源、分光镜、反光镜、透镜、光电探测器、精密位移装置分别固定设置于壳体内,使得光电探测器上能接收到待测激光束;
步骤S2:控制精密位移装置带动第一平面反射镜和第二平面反射镜在第一平面反射镜和第二平面反射镜的水平方向或竖直方向上移动,使得光电探测器上接收的待测激光束能产生相消干涉或相长干涉的现象;并且处理器记录本次移动第一平面反射镜和第二平面反射镜移动的位移量X1;
步骤S3:继续控制精密位移装置带动第一平面反射镜和第二平面反射镜在第一平面反射镜和第二平面反射镜的水平方向或竖直方向上移动,直到光电探测器上产生下一个或第N个相消干涉或相长干涉的现象,N为正整数;并且处理器记录两次移动第一平面反射镜和第二平面反射镜的总位移量X2;
步骤S4:处理器根据第一平面反射镜和第二平面反射镜两次水平方向或竖直方向的位移量计算出待测激光束的波长。
9.根据权利要求8所述的一种利用干涉原理完成激光波长测量的方法,其特征在于:所述步骤S1具体包括以下步骤:步骤S1-1:开启待测激光源,将待测激光源、分光镜、反光镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、精密位移装置设置于壳体内,使得第一平面反射镜能接收到反光镜反射的待测激光束,以及第二平面反射镜能接收到分光镜透射/反射的待测激光束;
步骤S1-2:调整分光镜和反光镜的角度,使得第一平面反射镜反射出去的待测激光束与第二平面反射镜反射出去的待测激光束平行;
步骤S1-3:将透镜设置于壳体内,使得第一平面反射镜和第二平面反射镜反射至透镜的待测激光束能垂直射入透镜;
步骤S1-4:将光电探测器设置于透镜的焦点处,使得光电探测器能接收到透镜透射的待测激光束。