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专利号: 2019110607117
申请人: 西安工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种双波长调频连续波激光干涉高精度绝对测量方法,其特征在于:步骤一:利用两个中心波长不同的FMCW激光干涉仪同时测量待测目标,两个FMCW激光干涉仪中的两个激光器使用同样的调制波形,进行同步调制和解调,步骤二:根据两个FMCW激光干涉仪分别在参考位置和待测位置测得的干涉级小数部分,计算出其中一个干涉仪所干涉级变化量的整数和尾数,由此计算出对应光程差变化量的绝对值。

2.根据权利要求1所述的一种双波长调频连续波激光干涉高精度绝对测量方法,其特征在于:上述步骤二的具体步骤是首先分别测量FMCW激光干涉仪在参考位置和待测位置的干涉级小数部分,当光程差OPD在一个合成波长内变化时,设第一次测量时两个干涉信号干涉级的尾数是ε10、ε20,第二次测量时两个干涉信号干涉级的尾数是ε1、ε2,令δε1=ε1-ε10,δε2=ε2-ε20,然后计算第一个干涉信号两次测量对应的干涉级整数部分:(1)当ε2-ε1>0、ε20-ε10>0,或ε2-ε1<0、ε20-ε10<0时,(2)当ε2-ε1>0、ε20-ε10<0时,(3)当ε2-ε1<0、ε20-ε10>0时,最后计算第一个干涉信号两次测量光程差变化量ΔOPD:(1)当δε1>0时,

ΔOPD=(δN1+δε1)λ1

(2)当δε1<0时,

ΔOPD=(δN1+δε1-1)λ1。