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专利号: 2019108978918
申请人: 大同新成新材料股份有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-04-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种多晶硅用具有保温结构的生产设备,包括保温筒顶座(3)和保温筒外壳体(17),其特征在于:所述保温筒外壳体(17)的上方设置有保温筒顶座(3),所述保温筒顶座(3)的两端设置有固定手环(19),所述保温筒顶座(3)的顶端中间位置处设置有控制阀(1),所述控制阀(1)的左下方设置有高温计(20),所述控制阀(1)的右下方设置有测压口(4),所述控制阀(1)的下方位于保温筒顶座(3)的内部设置有联轴器(2),所述保温筒顶座(3)与保温筒外壳体(17)的固接处设置有密封圈(5),所述保温筒外壳体(17)的底端中间位置处设置有引流口(12),所述引流口(12)的左侧设置有支撑脚(13),所述保温筒外壳体(17)的桶身外壁上端设置有导热油入口(18),所述保温筒外壳体(17)的内部设置有导热油保温层(16),所述导热油保温层(16)的内部设置有保温层(15),所述保温层(15)的内部设置有石英坩埚(10),所述石英坩埚(10)的内部设置有加热元件(8),所述加热元件(8)的内部位于联轴器(2)的下方设置有石墨坩埚(6),所述石墨坩埚(6)的下方设置有坩埚底座(7),所述坩埚底座(7)的下方设置有中心轴(11),所述中心轴(11)的左右两侧设置有固定支架(9),所述固定支架(9)的下方设置有夹持座(14),所述保温筒顶座(3)的上方设置有电机(22),所述电机(22)的下方设置有电机转轴(21),所述电机转轴(21)的下方设置有固定横梁(24),所述电机转轴(21)的底端位于固定横梁(24)的中间位置处设置有中心轴承(23),所述中心轴(11)的底端设置有轴承(25),所述保温筒顶座(3)的底端设置有顶座螺块(26),所述顶座螺块(26)的下方位于保温筒外壳体(17)的顶端位置处设置有保温筒螺槽(27),所述加热元件(8)和电机(22)均与外部电源电性连接;

所述电机(22)与石英坩埚(10)之间通过中心轴承(23)转动连接,所述电机(22)与中心轴承(23)之间通过电机转轴(21)转动连接,所述石墨坩埚(6)的顶端与中心轴承(23)之间通过联轴器(2)转动连接,所述石墨坩埚(6)的底端与石英坩埚(10)之间通过中心轴(11)和轴承(25)转动连接;

所述顶座螺块(26)与保温筒顶座(3)一体成型,所述保温筒顶座(3)与保温筒外壳体(17)之间通过顶座螺块(26)和保温筒螺槽(27)螺纹拆卸连接,所述保温筒顶座(3)与保温筒外壳体(17)的固合处通过密封圈(5)密封连接。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅用具有保温结构的生产设备,其特征在于:所述保温层(15)与保温筒外壳体(17)之间一体成型,所述保温层(15)的材料为岩棉、矿渣棉、玻璃棉和微孔硅酸钙的混合物。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅用具有保温结构的生产设备,其特征在于:所述导热油保温层(16)位于保温层(15)的外部,所述导热油保温层(16)将保温层(15)完全包裹,所述导热油保温层(16)通过导热油入口(18)添加导热油进行保温。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅用具有保温结构的生产设备,其特征在于:所述石英坩埚(10)的顶端与固定横梁(24)之间通过中心轴承(23)转动连接,所述石英坩埚(10)位于保温筒外壳体(17)的内部,所述石英坩埚(10)紧贴保温筒外壳体(17)的内壁,两者的距离在1cm‑2cm之间。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅用具有保温结构的生产设备,其特征在于:所述测压口(4)包括压力表(28)和泄压阀(29),所述测压口(4)的左侧设置有泄压阀(29),所述测压口(4)与泄压阀(29)之间通过螺栓固定连接,所述泄压阀(29)的左侧设置有压力表(28),所述泄压阀(29)与压力表(28)之间焊接固定。

6.根据权利要求1‑5任一所述的一种多晶硅用具有保温结构的生产设备的使用方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、将多晶硅放入到石墨坩埚(6)中;

S2、将保温筒顶座(3)与保温筒外壳体(17)盖好,通过密封圈(5)进行密封;

S3、将导热油从导热油入口(18)添加到导热油保温层(16)内,加满后关闭入口阀门;

S4、打开电源开关,让坩埚内开始加热,对多晶硅进行加热处理;

S5、电机(22)通过转轴带动坩埚进行转动,让多晶硅受热均匀;

S6、对多晶硅加工处理后,通过保温筒顶座(3)与保温筒外壳体(17)对其进行保温处理即可。