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专利号: 2019108648852
申请人: 陕西科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种一步化学气相沉积无铅全无机钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

1)将溴化铯和溴化锡粉末按照摩尔比1:1分别放入两个石英舟中,然后将石英舟放入直径为20mm,长为 430mm 的两端封闭的管式炉内的玻璃管高温区内;

2)将单晶硅衬底分别在丙酮,无水乙醇和去离子水中超声清洗15分钟,随后在干燥炉中烘干后,放置在半圆形底座上,其中底座与水平面成45°角倾斜,将底座放在石英管下游的低温区域;

3)将管式炉密封后,通入流速为 400sccm 的高纯惰性气体5分钟,然后将高纯惰性气体流速调节至200sccm,并开启升温程序;

4)将高温区控制在90分钟从室温升到860℃,并保持5分钟;然后低温区在35分钟从室温升温到300℃,并保温30分钟。