1.一种一步化学气相沉积无铅全无机钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)将溴化铯和溴化锡粉末按照摩尔比1:1分别放入两个石英舟中,然后将石英舟放入直径为20mm,长为 430mm 的两端封闭的管式炉内的玻璃管高温区内;
2)将单晶硅衬底分别在丙酮,无水乙醇和去离子水中超声清洗15分钟,随后在干燥炉中烘干后,放置在半圆形底座上,其中底座与水平面成45°角倾斜,将底座放在石英管下游的低温区域;
3)将管式炉密封后,通入流速为 400sccm 的高纯惰性气体5分钟,然后将高纯惰性气体流速调节至200sccm,并开启升温程序;
4)将高温区控制在90分钟从室温升到860℃,并保持5分钟;然后低温区在35分钟从室温升温到300℃,并保温30分钟。