1.一种钙钛矿薄膜热处理设备,包括机体(1)、真空炉本体(2),其特征在于,所述真空炉本体(2)设置于机体(1)内部,所述机体(1)内壁底部嵌设挖设有密封槽(3),所述真空炉本体(2)顶部固定连接有驱动架(4),所述驱动架(4)内部设有炉门(5),所述炉门(5)底侧与密封槽(3)内壁活动连接,所述真空炉本体(2)的炉膛内壁左侧固定连接有调节座(6),所述调节座(6)右侧连接有送料板(7),所述送料板(7)顶部连接有薄膜承载板(8)。
2.根据权利要求1所述的一种钙钛矿薄膜热处理设备,其特征在于,所述驱动架(4)包括Z型支撑板(9)、液压缸(10),所述Z型支撑板(9)顶侧中部与液压缸(10)固定连接,所述Z型支撑板(9)与真空炉本体(2)顶部固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种钙钛矿薄膜热处理设备,其特征在于,所述炉门(5)内侧固定连接有保温层(11),所述炉门(5)通过保温层(11)与真空炉本体(2)的进料口密封贴合,所述炉门(5)顶部等距挖设有安装孔(12),所述安装孔(12)的深度与Z型支撑板(9)高度相等。
4.根据权利要求3所述的一种钙钛矿薄膜热处理设备,其特征在于,所述液压缸(10)的固定端贯穿Z型支撑板(9)底侧,且固定端伸入中部所述安装孔(12)内部,所述液压缸(10)的活动端与中部所述安装孔(12)内壁底侧固定连接,两侧所述安装孔(12)内部活动连接有第一导向杆(13),所述第一导向杆(13)固定端贯穿Z型支撑板(9)顶部。
5.根据权利要求4所述的一种钙钛矿薄膜热处理设备,其特征在于,所述调节座(6)右侧挖设有矩形凹槽(14),所述矩形凹槽(14)内壁后侧通过轴承连接有丝杠(15),所述丝杠(15)两侧设有第二导向杆(23),所述丝杠(15)与第二导向杆(23)外侧套设有移动块(16)。
6.根据权利要求5所述的一种钙钛矿薄膜热处理设备,其特征在于,所述第二导向杆(23)两端与矩形凹槽(14)内壁两侧固定连接,所述移动块(16)外侧与送料板(7)左部后侧固定连接,所述移动块(16)内部通过滚珠轴承设有螺母,且通过滚珠轴承、螺母与丝杠(15)匹配螺纹连接。
7.根据权利要求6所述的一种钙钛矿薄膜热处理设备,其特征在于,所述送料板(7)壁腔中部设有安装腔(17),所述安装腔(17)内腔中部通过轴承贯通设有转动管(18),所述转动管(18)外侧套设固定有蜗轮(19),所述蜗轮(19)一侧匹配连接有蜗杆(20),所述转动管(18)顶端与薄膜承载板(8)底侧中部固定连接。
8.根据权利要求7所述的一种钙钛矿薄膜热处理设备,其特征在于,所述调节座(6)前侧与送料板(7)前侧分别挖设有连接孔槽(21),所述丝杠(15)前端与蜗杆(20)前端分别伸入连接孔槽(21)内部,且固定连接有内六棱管(22)。