1.一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于，包括：装置底座（1）与固定安装于所述装置底座（1）顶部的移动台（2），所述移动台（2）的移动端固定安装有底架（3），所述底架（3）的顶部固定安装有放置座（4），所述装置底座（1）的顶部固定安装有安装架（5），所述安装架（5）的外侧固定安装有电动伸缩杆（6），所述电动伸缩杆（6）的输出端固定安装有检测探头（7）；

还包括：

定料机构，用于对所述放置座（4）上的晶圆定位吸附，所述定料机构安装于所述放置座（4）的内侧，所述定料机构包括滑动安装于所述放置座（4）内侧的滑台（8），所述滑台（8）的外侧设置有凸环，所述凸环与所述放置座（4）的内侧相接触，所述放置座（4）为空心结构，所述放置座（4）的内侧固定安装有定位盘（9），所述定位盘（9）的底部与所述放置座（4）的底部之间转动安装有螺杆（10），所述滑台（8）的底部固定安装有四个呈中心对称分布的推杆（11），所述推杆（11）滑动贯穿所述定位盘（9），四个所述推杆（11）的底端之间固定安装有与所述螺杆（10）相配合的移动块（12），所述安装架（5）的内侧固定安装有电机（31），所述电机（31）的输出端与所述螺杆（10）的底端固定连接，所述滑台（8）的内侧固定安装有四个呈中心对称分布的吸气管（39），所述吸气管（39）的外侧滑动安装有延伸至所述滑台（8）下方的套筒（13），所述定位盘（9）的底部固定安装有电动气泵（14），所述电动气泵（14）通过连接管与四个所述套筒（13）对接，所述套筒（13）的内侧还设置有用于关闭所述吸气管（39）的密封组件；

抬料机构，用于将所述放置座（4）上的晶圆抬起取料，所述抬料机构安装于所述放置座（4）的内侧，所述抬料机构包括滑动安装于所述滑台（8）内侧的顶杆（15），所述顶杆（15）的顶部固定安装有顶板（16），所述滑台（8）的顶部设置有橡胶板（17），所述橡胶板（17）的表面开设有与四个所述吸气管（39）相对应的吸气孔，所述橡胶板（17）的底部固定安装有四个呈中心对称分布的插杆（18），所述滑台（8）顶部开设有供所述插杆（18）限位插接的插槽，所述顶杆（15）的外侧固定安装有滑环（19），所述滑环（19）的顶部与所述滑台（8）的内侧之间固定安装有弹簧一（20），所述滑台（8）的内侧滑动安装有四个呈中心对称分布的推块（21），所述推块（21）靠近所述顶杆（15）的一侧固定安装有抵杆（22），所述抵杆（22）的一端固定安装有三角块（23），所述顶杆（15）的底端为圆弧形结构并与所述三角块（23）的斜面相接触，所述放置座（4）的内侧固定安装有四个分别位于四个所述推块（21）正上方的抵块（24），所述抵块（24）的底部为斜面结构，所述推块（21）靠近所述抵块（24）的一侧为弧形结构；

护料机构，用于为所述放置座（4）上的晶圆提供取料防护，所述护料机构安装于所述放置座（4）的顶部，所述护料机构包括四个呈中心对称转动安装于所述滑台（8）凸环上的活动杆（25），所述放置座（4）的顶部开设有供所述活动杆（25）限位滑动的穿孔，所述活动杆（25）的外侧设置有定位环（26），所述定位环（26）固定安装于所述放置座（4）的顶部内壁，所述定位环（26）的内侧固定安装有两个呈中心对称分别的螺旋条（27），所述活动杆（25）的外侧开设有与所述螺旋条（27）相配合的螺旋槽，所述活动杆（25）的顶部固定安装有位于所述滑台（8）上方的挡板（28），所述挡板（28）的外侧设置有橡胶护条（29），所述橡胶护条（29）呈弧形结构，所述放置座（4）的顶部开设有供所述挡板（28）收入的收纳槽，所述橡胶护条（29）靠近所述活动杆（25）的一侧固定安装有拉板（30），所述拉板（30）的底部与所述挡板（28）的顶部相接触，所述挡板（28）的顶部开设有供所述拉板（30）限位插接的U形卡槽。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述密封组件包括设置于所述套筒（13）底部的圆形块（32），所述圆形块（32）通过四个凸块与所述套筒（13）的内侧对接，所述圆形块（32）的顶部固定安装有延伸至所述吸气管（39）内侧的支杆（33），所述支杆（33）的顶端固定安装有密封球（34），所述支杆（33）的外侧设置有密封环（35），所述密封环（35）固定安装于所述吸气管（39）的内侧，所述密封环（35）的顶部开设有供所述密封球（34）限位插接的球形槽，所述密封环（35）的内径大于所述支杆（33）的外径。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述圆形块（32）的外径与所述套筒（13）的内径相对应，所述圆形块（32）的外侧为橡胶材质。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述定位盘（9）的顶部与所述放置座（4）的顶部内壁之间固定安装有多个呈中心对称滑动贯穿所述滑台（8）凸环的导向杆（36）。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述插杆（18）为橡胶材质，所述插杆（18）的底端开设有柱形凸块。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述抵杆（22）的外侧滑动安装有定位板（37），所述定位板（37）与所述推块（21）之间固定安装有弹簧二（38）。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述顶板（16）的顶部为圆弧形结构，所述橡胶板（17）的底部与所述顶板（16）的顶部固定连接。