1.一种半导体基板进料的自动搬运设备,包括立柱(1),其特征在于:所述立柱(1)一侧设有横杆(2),所述横杆(2)一侧设有第一弹簧(3),所述第一弹簧(3)一端与横杆(2)固定连接,所述第一弹簧(3)另一端设有平衡板(4),所述平衡板(4)一侧设有固定块(5),所述固定块(5)一侧设有吸盘(6),所述吸盘(6)两侧均设有第二弹簧(7),所述第二弹簧(7)一端与吸盘(6)固定连接,所述第二弹簧(7)另一端与平衡板(4)固定连接,所述吸盘(6)一侧设有通气管(8),所述立柱(1)一侧设有连接件(9),所述连接件(9)一端与立柱(1)固定连接,所述连接件(9)另一端设有齿轮盘(10),所述齿轮盘(10)一侧设有步进电机(11),所述步进电机(11)输出端与齿轮盘(10)相适配,所述连接件(9)一侧设有电动伸缩杆(12),所述电动伸缩杆(12)一端与立柱(1)铰接,所述电动伸缩杆(12)底端与连接件(9)铰接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体基板进料的自动搬运设备,其特征在于:所述固定块(5)一端横截面形状设置为半球形,所述吸盘(6)一侧设有凹槽,所述凹槽与固定块(5)一端相适配。
3.根据权利要求1所述的一种半导体基板进料的自动搬运设备,其特征在于:所述第一弹簧(3)内部设有伸缩套管(13),所述伸缩套管(13)一端与横杆(2)固定连接,所述伸缩套管(13)另一端与平衡板(4)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种半导体基板进料的自动搬运设备,其特征在于:所述通气管(8)一端连接有抽气泵。
5.根据权利要求1所述的一种半导体基板进料的自动搬运设备,其特征在于:所述吸盘(6)表面设有密封垫(14),所述密封垫(14)由橡胶材料制成。
6.根据权利要求1所述的一种半导体基板进料的自动搬运设备,其特征在于:所述横杆(2)的数量设置为多个,多个所述横杆(2)均匀排布在立柱(1)表面,所述吸盘(6)一侧设有基板(15)。