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专利号: 2018109404954
申请人: 上海蒂城科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2025-12-12
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体基板搬运装置,包括进料支撑架(1),其特征在于:所述进料支撑架(1)的输出端固定连接有弯转输出架(2),所述弯转输出架(2)的输出端口固定连接有出料传输架(3),所述进料支撑架(1)、弯转输出架(2)和出料传输架(3)的表面均匀固定连接有固定轴承(4),所述固定轴承(4)位于进料支撑架(1)的内部转动连接有传输轴(5),所述传输轴(5)的中间位置固定连接有进料传输轮(6),所述固定轴承(4)位于弯转输出架(2)的内部转动连接有弯转转轴(7),所述弯转转轴(7)的中间位置固定连接有弯转传输轮(8),所述出料传输架(3)的中间位置均匀转动连接有出料传输轮(9),所述进料传输轮(6)的顶部设置有半导体基板(10),所述半导体基板(10)的右侧设置有辅助弯转杆(11),所述弯转输出架(2)的内侧固定连接有支撑连杆(12),所述支撑连杆(12)远离弯转输出架(2)的一端固定连接有精准弯转辅助机构(13),所述出料传输架(3)的中间位置固定连接有风洁机构(14);所述精准弯转辅助机构(13)包括限制转轴(131),所述限制转轴(131)的底端与支撑连杆(12)固定连接,所述限制转轴(131)的顶端转动连接有圆形滚柱(132),所述圆形滚柱(132)的表面开设有限制挡槽(133);所述辅助弯转杆(11)包括限制框(111),所述限制框(111)顶端的中间位置螺纹连接有螺纹连杆(112),所述螺纹连杆(112)位于限制框(111)外部的一端固定连接有手摇杆(113),所述螺纹连杆(112)位于限制框(111)内部的一端转动连接有下压板(114),所述限制框(111)外部的一侧固定连接有限制拨杆(115),所述限制拨杆(115)与精准弯转辅助机构(13)对称设置。

2.根据权利要求1所述的一种半导体基板搬运装置,其特征在于:所述限制转轴(131)的底端套设有扭簧(134),所述扭簧(134)的顶端与圆形滚柱(132)一侧固定连接,所述扭簧(134)的底端与支撑连杆(12)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体基板搬运装置,其特征在于:所述风洁机构(14)包括固定侧框(141),所述固定侧框(141)的底端与出料传输架(3)固定连接,所述固定侧框(141)内部顶端的两侧均固定连接有风机(142)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体基板搬运装置,其特征在于:所述风机(142)的一端连通有通气管(143),所述固定侧框(141)内壁的两侧均匀固定连接有通气喷管(144),所述通气管(143)远离风机(142)的一端与通气喷管(144)连通。

5.根据权利要求4所述的一种半导体基板搬运装置,其特征在于:所述固定侧框(141)顶端的中间位置固定连接有除杂框(145),所述除杂框(145)内部的底端固定连接有电风扇(146),所述除杂框(145)内部且位于电风扇(146)上方的位置固定连接有滤网(147)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体基板搬运装置,其特征在于:所述进料支撑架(1)、弯转输出架(2)和出料传输架(3)的外表面均固定连接电动机(15),所述电动机(15)的输出轴上固定连接有主动转轮(16)。

7.根据权利要求1所述的一种半导体基板搬运装置,其特征在于:所述传输轴(5)、弯转转轴(7)和出料传输轮(9)的轴心处均固定连接有从动转轮(17)。

8.根据权利要求7所述的一种半导体基板搬运装置,其特征在于:所述从动转轮(17)通过皮带(18)与主动转轮(16)传动连接。