1.一种太赫兹波探测器，其特征在于，所述太赫兹波探测器的制备方法包括以下步骤：（1）在氮气保护下，混合六氯铱酸铵、二辛基锡、九水合硝酸铝、乙醇和丙酸；然后回流搅拌5分钟，然后加入氢氧化钾甲醇溶液与过氧苯甲酸叔丁酯；反应10分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯聚沉离心；将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；然后加入乙酸锰、硝酸钴、水，搅拌10分钟加入三茂钐，搅拌1小时，得到支撑层前驱体；

（2）在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，50℃搅拌1小时，然后加入4,

4-二氨苯基甲烷、正硅酸乙酯，回流搅拌10分钟，然后浓缩得到固含量80%的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后冷冻干燥，得到纳米粉；所述超重力处理的转速为35000～

40000rpm；浓缩物的流量为80～90mL/min；

（3）将氧化石墨烯、环氧树脂加入丙酮，回流搅拌20分钟后加入单硬脂酸甘油酯与二苯基硅二醇，继续搅拌10分钟，然后加入石蜡，搅拌30分钟，得到隔离层前驱体；

（4）将纳米粉加入隔离层前驱体中，搅拌5分钟后加入碳纳米管，搅拌10分钟得到加强层前驱体；

（5）在耐热基底上依次涂覆隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体，得到衬底；每次涂覆后室温干燥；

（6）在衬底上利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，从而得到太赫兹波探测器。

2.根据权利要求1所述太赫兹波探测器，其特征在于，六氯铱酸铵、二辛基锡、九水合硝酸铝、乙醇、丙酸、氢氧化钾甲醇溶液、过氧苯甲酸叔丁酯、乙酸锰、硝酸钴、水、三茂钐的质量比为15∶45∶38∶150∶80∶50∶3∶20∶30∶100∶2；离心沉淀物、聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁、4,4-二氨苯基甲烷、正硅酸乙酯的质量比为15∶55∶5∶0.1∶40∶50；氧化石墨烯、环氧树脂、丙酮、单硬脂酸甘油酯、二苯基硅二醇、石蜡的质量比为5∶100∶150∶20∶30∶12；纳米粉、隔离层前驱体的质量比为75∶100。

3.根据权利要求1所述太赫兹波探测器，其特征在于，所述氢氧化钾甲醇溶液中氢氧化钾的质量浓度为4.5%；所述聚乙烯醇的分子量为1500～2000。

4.根据权利要求1所述太赫兹波探测器，其特征在于，隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体在耐热基底上的厚度分别为50微米、500微米、260微米。

5.根据权利要求1所述太赫兹波探测器，其特征在于，所述外延法为金属有机物化学气相外延法、分子束外延法或者氢化物气相外延法。

6.一种太赫兹波探测装置，其特征在于，所述太赫兹波探测装置的制备方法包括以下步骤：（1）在氮气保护下，混合六氯铱酸铵、二辛基锡、九水合硝酸铝、乙醇和丙酸；然后回流搅拌5分钟，然后加入氢氧化钾甲醇溶液与过氧苯甲酸叔丁酯；反应10分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯聚沉离心；将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；然后加入乙酸锰、硝酸钴、水，搅拌10分钟加入三茂钐，搅拌1小时，得到支撑层前驱体；

（2）在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，50℃搅拌1小时，然后加入4,

4-二氨苯基甲烷、正硅酸乙酯，回流搅拌10分钟，然后浓缩得到固含量80%的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后冷冻干燥，得到纳米粉；所述超重力处理的转速为35000～

40000rpm；浓缩物的流量为80～90mL/min；

（3）将氧化石墨烯、环氧树脂加入丙酮，回流搅拌20分钟后加入单硬脂酸甘油酯与二苯基硅二醇，继续搅拌10分钟，然后加入石蜡，搅拌30分钟，得到隔离层前驱体；

（4）将纳米粉加入隔离层前驱体中，搅拌5分钟后加入碳纳米管，搅拌10分钟得到加强层前驱体；

（5）在耐热基底上依次涂覆隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体，得到衬底；每次涂覆后室温干燥；

（6）在衬底上利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，从而得到太赫兹波探测器；将太赫兹波探测器进行封装，得到太赫兹波探测装置。

7.一种太赫兹波探测系统，其特征在于，所述太赫兹波探测系统的制备方法包括以下步骤：（1）在氮气保护下，混合六氯铱酸铵、二辛基锡、九水合硝酸铝、乙醇和丙酸；然后回流搅拌5分钟，然后加入氢氧化钾甲醇溶液与过氧苯甲酸叔丁酯；反应10分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯聚沉离心；将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；然后加入乙酸锰、硝酸钴、水，搅拌10分钟加入三茂钐，搅拌1小时，得到支撑层前驱体；

（2）在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，50℃搅拌1小时，然后加入4,

4-二氨苯基甲烷、正硅酸乙酯，回流搅拌10分钟，然后浓缩得到固含量80%的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后冷冻干燥，得到纳米粉；所述超重力处理的转速为35000～

40000rpm；浓缩物的流量为80～90mL/min；

（3）将氧化石墨烯、环氧树脂加入丙酮，回流搅拌20分钟后加入单硬脂酸甘油酯与二苯基硅二醇，继续搅拌10分钟，然后加入石蜡，搅拌30分钟，得到隔离层前驱体；

（4）将纳米粉加入隔离层前驱体中，搅拌5分钟后加入碳纳米管，搅拌10分钟得到加强层前驱体；

（5）在耐热基底上依次涂覆隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体，得到衬底；每次涂覆后室温干燥；

（6）在衬底上利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，从而得到太赫兹波探测器；将太赫兹波探测器进行封装，得到太赫兹波探测装置；将太赫兹波探测装置与支架、电脑、指示灯组合，得到太赫兹波探测系统。