1.一种用于太赫兹波探测的器件,其特征在于,所述用于太赫兹波探测的器件的制备方法包括以下步骤:(1)在氮气保护下,混合六氯铱酸铵、水合硝酸镍、钼酸铵、乙醇和丙酸;然后回流搅拌5分钟,然后加入氨水;反应10分钟后自然冷却至室温,加入乙酸乙酯聚沉离心;将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系;然后加入硝酸锶、硝酸钴、水,搅拌10分钟加入三茂钐,搅拌1小时,得到支撑层前驱体;
(2)在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁,50℃搅拌1小时,然后加入萘甲酰乙酸乙酯、邻苯二甲酸二丁酯,回流搅拌10分钟,然后浓缩得到固含量80%的浓缩物;将浓缩物进行超重力处理;然后冷冻干燥,得到纳米粉;所述超重力处理的转速为35000~
40000rpm;浓缩物的流量为80~90mL/min;
(3)将氧化石墨烯、环氧树脂加入丙酮,回流搅拌20分钟后加入N-乙烯基咔唑与二苯基硅二醇,继续搅拌10分钟,然后加入偶氮二异丁腈,搅拌30分钟,得到隔离层前驱体;
(4)将纳米粉加入隔离层前驱体中,搅拌5分钟后加入碳纳米管,搅拌10分钟得到加强层前驱体;
(5)在耐热基底上依次涂覆隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体,得到衬底;每次涂覆后室温干燥;
(6)在衬底上利用外延法制备铝镓氮/镓氮层;然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极,从而得到用于太赫兹波探测的器件;
六氯铱酸铵、水合硝酸镍、钼酸铵、乙醇、丙酸、氨水、硝酸锶、硝酸钴、水、三茂钐的质量比为15∶45∶30∶150∶80∶50∶5∶10∶100∶5;离心沉淀物、聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁、萘甲酰乙酸乙酯、邻苯二甲酸二丁酯的质量比为15∶55∶5∶0.1∶40∶50;氧化石墨烯、环氧树脂、丙酮、N-乙烯基咔唑、二苯基硅二醇、偶氮二异丁腈的质量比为3∶100∶150∶15∶30∶3;纳米粉、隔离层前驱体的质量比为78∶100。
2.根据权利要求1所述用于太赫兹波探测的器件,其特征在于,所述氨水的质量浓度为
8.5%;所述聚乙烯醇的分子量为1500~2000。
3.根据权利要求1所述用于太赫兹波探测的器件,其特征在于,隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体在耐热基底上的厚度分别为50微米、500微米、260微米。
4.根据权利要求1所述用于太赫兹波探测的器件,其特征在于,所述外延法为金属有机物化学气相外延法、分子束外延法或者氢化物气相外延法。