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专利号: 2018102901956
申请人: 重庆邮电大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片,其特征在于:耦合光栅(1)、介质波导、表面等离子波导、微流体结构和硅基底(2);

所述介质波导由波导上包层(3)、波导下包层(4)和波导芯层(5)组成,所述波导下包层(4)层叠设置在所述硅基底(2)的上表面,所述波导芯层(5)层叠设置在所述波导下包层(4)的上表面;

所述波导上包层(3)设置在所述波导芯层(5)的上表面,且所述波导上包层(3)的下表面积小于所述波导芯层(5)的上表面积;

所述耦合光栅(1)分布在所述波导芯层(5)的上表面,且所述耦合光栅(1)未与所述波导上包层(3)接触;

所述波导上包层(3)的上表面设置有表面等离子波导芯层(9);

所述微流体结构由进液通道(6)、出液通道(7)和微流体通道(8)组成;

所述微流体通道(8)层叠设置在所述表面等离子波导芯层(9)的上表面,所述进液通道(6)和出液通道(7)均设置于所述微流体通道(8)的上表面;

所述硅基底(2)、波导下包层(4)和波导芯层(5)的外表面齐平,所述波导上包层(3)、表面等离子波导芯层(9)和微流体通道(8)的外表面齐平;

入射光从耦合光栅(1)射入并从波导芯层(5)另一端射出。

2.根据权利要求1所述的一种基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片,其特征在于:所述表面等离子波导芯层(9)采用金、银或铜制成。

3.根据权利要求1所述的一种基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片,其特征在于:所述耦合光栅(1)的狭缝方向垂直于光的传输方向,所述进液通道(6)和出液通道(7)互相平行且左右对称设置于微流体通道(8)上方,并与所述微流体通道(8)垂直。

4.根据权利要求1所述的一种基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片,其特征在于:所述波导芯层(5)的材质为聚四氟乙烯,波导上包层(3)和波导下包层(4)材质为有机膜全氟树脂。

5.根据权利要求1所述的一种基于长程等离子波导的表面增强拉曼光流体芯片,其特征在于:所述耦合光栅(1)的材质为金薄膜。