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专利号: 2017113511367
申请人: 江南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 有机化学〔2〕
更新日期:2023-10-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有通式(Ⅰ)的吡啶基Mn(Ⅱ)化合物:

其中,R为氢原子、C1~C6烷基、C2~C5链烯基、C3~C10环烷基、C6~C10芳基或—Si(R1)3,R1为C1~C6烷基。

2.根据权利要求1所述的吡啶基Mn(Ⅱ)化合物,其特征在于,所述化合物的结构为:

3.权利要求1所述吡啶基Mn(Ⅱ)化合物的制备方法,其特征是,所述方法包括以下步骤:(1)将2-氨基吡啶或其衍生物溶解在反应溶剂中,2-氨基吡啶或其衍生物与反应溶剂的质量比为1:10~1:20,在-78~0℃保持搅拌的条件下加入烷基锂溶液中,2-氨基吡啶或其衍生物与烷基锂的摩尔比为1:1~1.2,烷基锂溶液的浓度为1.0~3.0M,搅拌速度为100~1000转/分钟;恢复到室温后继续搅拌反应1~10小时,得到反应混合液;所述反应溶剂为正己烷、甲苯、二氯甲烷、四氢呋喃或乙醚;

(2)另按照2-氨基吡啶或其衍生物与二氯化锰摩尔比2:0.9~1.1的比例,称取一定量的二氯化锰,并按照二氯化锰质量比1:10~20的比例加入四氢呋喃溶液;

(3)在-78℃将(1)所得反应混合液滴加到二氯化锰的四氢呋喃溶液中,缓慢升温至室温,升温速度为0.5~1℃/分钟,在室温下继续搅拌反应15~25小时;

(4)将步骤(3)得到的反应混合物进行减压除去易挥发物,然后加入己烷、甲苯、二氯甲烷、四氢呋喃或乙醚溶剂溶解,过滤提取,收集滤液,并在-20~30℃反复重结晶后得到所述的吡啶基Mn(Ⅱ)化合物。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述烷基锂溶液为甲基锂、正丁基锂、叔丁基锂的乙醚或者正己烷溶液。

5.权利要求1所述吡啶基Mn(Ⅱ)化合物在微电子材料中的应用。

6.根据权利要求5所述的应用,其特征在于,所述的应用是用于铜互连阻挡层材料。

7.根据权利要求6所述的应用,其特征在于,所述应用是以权利要求1所述的吡啶基Mn(Ⅱ)化合物作为前驱体,制备金属或金属合金薄膜。

8.根据权利要求6或7所述的应用,其特征在于,所述应用是以权利要求1所述的吡啶基Mn(Ⅱ)化合物作为前驱体,通过化学气相沉积工艺制备金属或金属合金薄膜。

9.根据权利要求6或7所述的应用,其特征在于,所述应用是以权利要求1所述的吡啶基Mn(Ⅱ)化合物作为前驱体,通过原子层沉积工艺制备金属或金属合金薄膜。