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专利号: 2017110207204
申请人: 浙江理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种氧化镓相结纳米柱阵列的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一,将Ga2O3籽晶层溶液旋涂于衬底表面,烘干,形成覆盖Ga2O3籽晶层的衬底,其中,Ga2O3籽晶层溶液以18μL乙醇胺、0.0741g的异丙醇镓、2.98mL的乙二醇甲醚的配比为前驱体,在60℃水浴加热60min制得;旋涂的转速为3000r/min;烘干条件为300℃保温30min,再

500℃保温60min;

步骤二,将步骤一所得的覆盖Ga2O3籽晶层的衬底置于Ga(NO3)3生长溶液中,水热反应,形成GaOOH纳米柱阵列,其中,Ga(NO3)3生长溶液的浓度为0.15~0.3g/30mL;水热的温度为

150℃,水热的生长时间为2~24h;

步骤三,将步骤二所得的GaOOH纳米柱阵列于400℃煅烧,得到α-Ga2O3纳米柱阵列;

步骤四,将步骤三所得的α-Ga2O3纳米柱阵列高温煅烧,形成α/β-Ga2O3相结纳米柱阵列;

步骤四的高温煅烧为700℃下煅烧20-60min,或在780℃-820℃,高温煅烧时间为

10min;所述步骤三的400℃煅烧的时间为240min;

所述α/β-Ga2O3相结纳米柱阵列是由α-Ga2O3纳米柱为内核,β-Ga2O3为外壳包裹于α-Ga2O3纳米柱构成;Ga2O3相结纳米柱的直径为40~800nm,Ga2O3相结纳米柱的高度为0.2~20μm。

2.根据权利要求1所述的一种氧化镓相结纳米柱阵列的制备方法,其特征在于,所述衬底为FTO导电玻璃。

3.根据权利要求1所述的一种氧化镓相结纳米柱阵列的制备方法,其特征在于,所述步骤一的旋涂时间为15秒。

4.根据权利要求2所述的一种氧化镓相结纳米柱阵列的制备方法,其特征在于,所述FTO导电玻璃经过预处理,所述预处理分别用丙酮、无水乙醇、去离子水超声清洗10min,然后在烘箱中干燥。