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专利号: 2017108743839
申请人: 广东工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种芯片的转移方法,包括以下步骤:

在晶圆芯片的凸点背面沉积含有磁性材料的有机材料层;

将导电杆接通正向电流,利用导电杆头部镀有的软磁材料与所述有机材料层相反的磁性,使导电杆与所述晶圆芯片吸附;

将所述晶圆芯片倒装焊接后,将导电杆接通反向电流使导电杆与晶圆芯片脱离;所述有机材料层的有机材料为有机硅树脂或环氧树脂,透光率在95%以上;

所述有机材料层中的磁性材料为镍基合金或铁氧体材料,含量小于5wt%。

2.根据权利要求1所述的转移方法,其特征在于,所述软磁材料为FeNi(Mo)、FeSi、FeAl、FeSiAl、羰基铁或铁氧体。

3.根据权利要求1所述的转移方法,其特征在于,所述有机材料层的厚度为0.001mm~

0.01mm。

4.根据权利要求1所述的转移方法,其特征在于,所述导电杆头部的尺寸小于等于晶圆芯片的尺寸。