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专利号: 2017101705408
申请人: 广东工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2025-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种实现短波长紫外LED的外延结构,其特征在于:所述外延结构自下而上包括依次设置的衬底、GaN缓冲层、未掺杂的GaN层、掺杂N型GaN层、多量子阱AlGaN/GaN层、P型AlGaN电子阻挡层、渐变P型AlGaN层和P型GaN层;

所述多量子阱AlGaN/GaN层由多量子阱AlGaN层和多量子阱GaN层按6个周期的交替生长而成,其中每层多量子阱AlGaN层组分比例为Al0.15Ga0.85N,厚度为8‑10nm;每层多量子阱GaN层为2‑3nm厚,生长温度为1020‑1050℃;

所述P型AlGaN电子阻挡层的组分比例为Al0.3Ga0.7N,厚度为10‑15nm,生长温度为960‑

1000℃;

所述渐变P型AlGaN层具体组分为AlxGa1‑x,x为从0.25到0.1的线性降低,厚度为90‑

110nm,生长温度为960‑1000℃;

所述GaN缓冲层的厚度为20~25nm,生长温度为530‑550℃,并在1030‑1080℃恒温6‑8分钟使GaN缓冲层重结晶;

所述未掺杂的GaN层的厚度为2.0~2.5μm,生长温度为1030‑1080℃;

所述掺杂N型GaN层的厚度为2.5‑3μm,生长温度为1030‑1080℃;

所述P型GaN层的厚度为20‑25nm,生长温度为960‑1000℃,并在680‑730℃下退火20‑25分钟。

2.根据权利要求1所述的一种实现短波长紫外LED的外延结构,其特征在于:所述衬底为蓝宝石衬底。