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专利号: 2016108419648
申请人: 绍兴市上虞宜美照明电器有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-08-12
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于LED的GaN外延结构,包括依次层叠的成核层、未掺杂GaN层、n型GaN层、多量子阱结构、p型电子阻挡层及p型GaN空穴活化层,其特征在于:还包括n应力释放层和p应力释放层,所述n应力释放层是由In组分含量递增渐变的InGaN/GaN超晶格层形成,所述p应力释放层是由In组分含量递增渐变的InN/GaN超晶格层形成;

其中,未掺杂GaN层包括纵向生长层与u-GaN横向生长层;所述n型GaN层包括低掺杂Si浓度的n-GaN层,Si掺杂的AlGaN层以及高掺杂Si浓度的n-GaN层;p型电子阻挡层是由Al组分含量递增渐变的p型AlGaN/GaN超晶格层形成;所述p型GaN空穴活化层为InGaN。

2.一种用于LED的GaN外延结构的制备方法,包括如下步骤:处理衬底,然后依次生长成核层、未掺杂GaN层、n型GaN层、多量子阱结构、p型电子阻挡层及p型GaN空穴活化层,其特征在于:n型GaN层和多量子阱结构之间生长n应力释放层,多量子阱结构和p型电子阻挡层之间生长p应力释放层,n应力释放层即InGaN/GaN超晶格层,p应力释放层即InN/GaN超晶格层,n应力释放层与p应力释放层生长时均是先生长一个超晶格势阱,再生长一个超晶格势垒,形成一个超晶格周期,然后周期重复性生长超晶格,相邻生长周期中In组分含量递增渐变。

3.根据权利要求2所述的用于LED的GaN外延结构的制备方法,其特征在于:未掺杂GaN层先纵向生长纵向生长层,后升温横向生长u-GaN横向生长层。

4.根据权利要求2所述的用于LED的GaN外延结构的制备方法,其特征在于:n型GaN层先生长低掺杂Si浓度的n-GaN层,再生长Si掺杂的AlGaN层,最后生长高掺杂Si浓度的n-GaN层。