1.一种组合式场流分离的循环肿瘤细胞分离装置，其特征在于：采用三层式结构，从上而下分别包括上盖板(1)、通道板(2)和基底板(3)；上盖板上加工有流体注入口(11)和两个出口，通道板(2)上制作有微通道，并作为分离腔，三层结构叠加后，流体注入口(11)与微通道一端连通，两个出口与微通道另一端连通，上盖板(1)的下表面上制作有介电泳电极(12)，电极布置方向与微通道倾斜，实现垂直方向和横向的驱动作用，基底板(3)的上表面制作有声表面波换能器(32)，声表面波换能器平行于微通道布置，声波场垂直于流动方向，基底板(3)上还制作有用于细胞捕获的表面结构；

基底板(3)上的表面结构，为制作于基底板(3)上表面的纳米粗糙度表面，并利用表面化学改性方法，在其上依次布置有连接体和细胞识别配体，纳米粗糙度表面采用化学刻蚀法获得，并进行表面修饰改性，连接体包括生物素、链霉亲和素和树形大分子，细胞识别配体包括anti-EpCAM、EGFR和核酸适配体。

2.如权利要求1所述的组合式场流分离的循环肿瘤细胞分离装置，其特征在于：上盖板(1)为玻璃材质，并在其上采用剥离或刻蚀法加工有介电泳用叉指微电极，叉指微电极与微通道倾斜布置，利用介电泳力驱动细胞横向和垂直分离。

3.如权利要求1所述的组合式场流分离的循环肿瘤细胞分离装置，其特征在于：通道板(2)为PDMS材质，利用SU-8胶光刻及模塑工艺制成，其上制作了微通道，通道板(2)并与上盖板、基底板键合成一体，实现微通道封闭。

4.如权利要求1所述的组合式场流分离的循环肿瘤细胞分离装置，其特征在于：基底板为铌酸锂压电材料，并采用剥离或刻蚀法制作了声表面波驱动的叉指电极。