1.耐热震性碳化硅坩埚,其组分含量(按质量百分比计)为:碳化硅75%~85%,除氧剂
7%~17%,添加剂0.7%~1%,粘结剂2%~7%,余量为脱模剂;所述碳化硅由60~80目、
100~200目和300~325目的碳化硅组成,60~80目、100~200目、300~325目碳化硅的质量比为1~3︰2~4︰1~2;
所述除氧剂为石墨粉、铝粉、镁粉或铁粉中的至少一种;所述添加剂为氧化铝、氧化钇、氧化锆或氧化铁中的一种或两种;所述粘结剂为水玻璃、粘土、聚乙烯醇或羧甲基纤维素钠中的任意一种;所述的脱模剂为石墨粉、滑石粉、云母粉或石蜡中的至少一种。
2.权利要求1所述耐热震性碳化硅坩埚的制作工艺,包括以下步骤:a、将碳化硅75%~85%、除氧剂7%~17%、添加剂0.7%~1%、粘结剂2%~7%和余量的脱模剂混匀;
b、将混匀的物料放入模具,压制成型,自然干燥2~3天,得到坩埚坯;
c、将坩埚坯在1350~1450℃,常压烧结18~24h,随炉冷却后,得到耐热震性碳化硅坩埚。
3.根据权利要求2所述的耐热震性碳化硅坩埚的制作工艺,其特征在于:步骤c所述的常压烧结过程中需要保温;所述保温的操作为:当温度升到400℃时保温60分钟,温度升到
600℃时保温60分钟,温度升到800℃时保温120~150分钟,温度升到1000℃时保温60分钟,在温度为1250~1350℃保温120~150分钟。