1.一种石英陶瓷坩埚的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，制备石英陶瓷坩埚坯体：

将石英砂粉末经过球磨后，以注浆成型的方式制备得到石英陶瓷坩埚坯体；

步骤2，制备致密涂层液：

称取氮化硅/硅化铌包覆微球与硅溶胶混合均匀，制备得到致密涂层液；

步骤3，制备石英陶瓷坩埚：

将致密涂层液涂覆于石英陶瓷坩埚坯体的表面，干燥处理后，得到石英陶瓷坩埚。

2.根据权利要求1所述的一种石英陶瓷坩埚的制作方法，其特征在于，所述步骤1中，石英砂粉末的粒径为50～100μm，纯度不小于99.99％。

3.根据权利要求1所述的一种石英陶瓷坩埚的制作方法，其特征在于，所述步骤1中，球磨的过程为：将石英砂粉末、粘结剂和去离子水按照质量比为10:0.5～1:2～3混合至球磨机内，使用氧化锆珠进行球磨，球料比为2～3:1，球磨速度为200～500rpm，球磨时间为2～

4h。

4.根据权利要求3所述的一种石英陶瓷坩埚的制作方法，其特征在于，所述粘结剂由质量浓度为20％的二氧化硅溶胶和甲基纤维素按照3～5:1混合后得到。

5.根据权利要求1所述的一种石英陶瓷坩埚的制作方法，其特征在于，所述步骤1中，注浆成型过程是通过将球磨后的浆料浇注至石膏模具中，室温下干燥处理20～24h后，置于60～100℃下干燥处理10～15h，再置于石墨炉内烧结处理，即得到石英陶瓷坩埚坯体。

6.根据权利要求5所述的一种石英陶瓷坩埚的制作方法，其特征在于，所述烧结处理的过程为：先升温至300～350℃，保温处理1～2h，再升温至750～800℃，保温处理1～2h，之后升温至1100～1200℃，保温处理3～5h，随炉冷却至室温后，得到石英陶瓷坩埚坯体。

7.根据权利要求1所述的一种石英陶瓷坩埚的制作方法，其特征在于，所述步骤2中，硅溶胶中二氧化硅的质量浓度为20％～30％，氮化硅/硅化铌包覆微球与二氧化硅溶胶的质量比为1:5～10。

8.根据权利要求1所述的一种石英陶瓷坩埚的制作方法，其特征在于，所述步骤3中，干燥处理的条件为：先在避光条件下室温放置12～24h后，再置于石墨炉内升温至450～550℃，保温1～2h，之后再升温至1100～1200℃，保温2～4h，随炉冷却即可。

9.根据权利要求1所述的一种石英陶瓷坩埚的制作方法，其特征在于，所述步骤3中，致密涂层液的涂覆厚度为500～1000μm。

10.根据权利要求1所述的一种石英陶瓷坩埚的制作方法，其特征在于，所述氮化硅/硅化铌包覆微球的制备方法为：

S1.称取五氧化二铌粉末与二氧化硅粉末按照质量比为1:1.2～1.4混合至行星球磨仪中，在惰性气体的保护下球磨8～12h，得到球磨粉料；

S2.将球磨粉料压实后置于石墨炉内，在惰性气体的保护下，先升温至900～1000℃保温1～2h后，通入氢气，升温至1175～1250℃，继续保温处理2～3h，冷却至室温后，得到硅化铌粉末；

S3.将聚氧乙烯醚加入至去离子水中，然后加入丙烯酸甲酯和苯乙烯，混合均匀后，再加入硅化铌粉末，超声混合均匀，通入惰性气体作为保护气，加入过硫酸钠，升温至65～80℃，搅拌反应4～6h，得到硅化铌/共聚物复合微球混液；

S4.向乙醇溶液中滴加氨水，在室温下搅拌混合均匀，缓慢加入硅化铌/共聚物复合微球混液，继续混合均匀，之后在不断搅拌的条件下以20～30滴/分钟的速度滴加正硅酸乙酯，滴加完毕后，继续在室温下搅拌10～15h，之后过滤收集固体颗粒，依次使用纯化水和无水乙醇洗涤三次，干燥处理后，得到二氧化硅核壳微球；

S5.将二氧化硅核壳微球混合至去离子水中，调节混合液的pH至2.5～3.5，超声处理

0.5～1h后，滴加正硅酸乙酯，搅拌混合3～5h后，过滤收集固体颗粒，使用无水乙醇洗涤三次，干燥处理后，得到二氧化硅核壳微球；

S6.将二氧化硅核壳微球置于石墨炉内，通入氮气作为保护气，先升温至550～650℃，保温1～2h后，继续升温至1200～1300℃，保温处理3～5h，之后降温至550～650℃，通入氧气，保持石墨炉内氧气与氮气的体积比为3:1，保温处理3～5h后，冷却至室温后，得到氮化硅/硅化铌包覆微球。