1.一种电热管气相沉积方法,其特征在于:
通过电热管气相沉积装置进行电热管气相沉积,电热管气相沉积装置包括高温炉(1),所述高温炉的前侧设有回转机构(2),所述回转机构包括转筒(201)、连接转筒的转轴(202)以及连接转轴的电机(203),所述转筒包括筒体(201a)和设置于筒体端面的若干根固定杆(201b),所述高温炉左侧设有曲柄滑块机构(3),所述曲柄滑块机构连接高压喷枪(4),所述高压喷枪上的进液口通过软管连接储液瓶(5),所述高压喷枪上的进气口通过软管连接高压气泵(6);
首先,将高温炉(1)的加热腔的温度加热至700℃~900℃,将石英玻璃管分别套接于固定杆(201b)上,并在固定杆头端套接耐热橡胶帽防止石英玻璃管从固定杆上滑出;
其次,推动电机(203)将转筒(201)推入高温炉(1)的加热腔内,启动电机使石英玻璃管绕转筒轴心旋转,之后开启高压喷枪(4)的开关和高压气泵(6)开关,然后启动控制曲柄滑块机构(3)的电动机,加热时间为15min;
最后,加热完成后,依次关闭高压喷枪开关、控制曲柄滑块机构的电动机以及电机(203),拉动电机将转筒拉出高温炉,取下石英玻璃管转移至冷却工位;
所述曲柄滑块机构(3)包括滑块(301),所述滑块上设有两块弹性片(301a),所述高压喷枪(4)底座嵌入两块弹性片之间的间隙中,所述高温炉(1)上端设有贯通高温炉加热腔的出气管(104),所述出气管与高温炉的连接端设有离心风机(104a),所述高压喷枪(4)与高压气泵(6)之间的软管上设有气压表(601)。