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专利号: 2013102882666
申请人: 中北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于纳米磁颗粒的磁矢量敏感元件的制造方法,其特征在于:该方法是采用如下步骤实现的:a.选取SiO2基底(1),并在SiO2基底(1)的上表面溅射下金属电极板(2);

b.在下金属电极板(2)的上表面涂覆光刻胶层(7);

c.在光刻胶层(7)的上表面层叠掩膜版(8),并对光刻胶层(7)进行紫外曝光;

d.对掩膜版(8)进行剥离,并对光刻胶层(7)进行显影处理;

e.在下金属电极板(2)的上表面交替沉积N+1个聚合物层(6)和N个Fe3O4纳米颗粒层(5);N+1个聚合物层(6)与N个Fe3O4纳米颗粒层(5)共同构成磁敏材料层(3);

f.在光刻胶层(7)的上表面和磁敏材料层(3)的上表面溅射上金属电极板(4);

g.对光刻胶层(7)进行剥离。