1.一种基于纳米磁颗粒的磁矢量敏感元件的制造方法,其特征在于:该方法是采用如下步骤实现的:a.选取SiO2基底(1),并在SiO2基底(1)的上表面溅射下金属电极板(2);
b.在下金属电极板(2)的上表面涂覆光刻胶层(7);
c.在光刻胶层(7)的上表面层叠掩膜版(8),并对光刻胶层(7)进行紫外曝光;
d.对掩膜版(8)进行剥离,并对光刻胶层(7)进行显影处理;
e.在下金属电极板(2)的上表面交替沉积N+1个聚合物层(6)和N个Fe3O4纳米颗粒层(5);N+1个聚合物层(6)与N个Fe3O4纳米颗粒层(5)共同构成磁敏材料层(3);
f.在光刻胶层(7)的上表面和磁敏材料层(3)的上表面溅射上金属电极板(4);
g.对光刻胶层(7)进行剥离。