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专利号: 2012103039095
申请人: 淮阴工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 微观结构技术〔7〕
更新日期:2025-04-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.利用飞秒激光无掩膜法制备磁敏感微结构单元的方法,其特征在于包括以下步骤:(1)按衬底、缓冲层、磁性层、保护层的顺序沉积制作磁性薄膜;

(2)利用飞秒激光作为光源,通过计算机精确控制样品台的位置,对磁性薄膜进行无掩膜辐照,得磁敏感微结构单元。

2.根据权利要求1所述的利用飞秒激光无掩膜法制备磁敏感微结构单元的方法,其特征在于:衬底为单晶硅或玻璃;缓冲层和保护层根据磁性薄膜的结构和种类确定是否需要;磁性层由单层或多层膜组成,其中,单层膜为磁记录膜或磁致伸缩膜;多层膜为铁磁/反铁磁双层膜或自旋阀结构多层膜或自旋隧道结结构多层膜。

3.根据权利要求1所述的利用飞秒激光无掩膜法制备磁敏感微结构单元的方法,其特征在于:在第二步中样品台的移动速度为60~500µm/min。

4.根据权利要求1所述的利用飞秒激光无掩膜法制备磁敏感微结构单元的方法,其特征在于:飞秒激光的参数为:单脉冲能量5~50µJ;脉冲宽度90~150fs;波长为800nm;

脉冲频率10~100Hz;在辐照时根据需要沿平行或垂直于磁性薄膜膜面方向施加0~500Oe的诱导磁场。

5.根据权利要求1所述的利用飞秒激光无掩膜法制备磁敏感微结构单元的方法,其特征在于:磁敏感微结构单元的形状为三角形、矩形、正六边形、圆形、椭圆形或其它给定图案。

6.根据权利要求1所述的利用飞秒激光无掩膜法制备磁敏感微结构单元的方法,其特征在于所述的磁性薄膜的制作方法是:利用高真空磁控溅射设备在经过清洗的单晶硅或玻-6璃衬底上沉积缓冲层、磁性层或保护层,其中,磁性层的生长条件为:背底真空5×10 Pa;

溅射气压0.3~0.5Pa;溅射功率10~120W;氩气流量20sccm;基片温度室温~300℃。