1.一种基于MEMS 技术的阵列式气味检测元件，包括半导体基底（1），以及在半导体基底（1）上采用MEMS 加工工艺加工得到的：气味敏感单元、用以检测气味敏感单元工作温度的感温单元（2）、用以将气味敏感单元加热至所需工作温度的加热单元（3）；其特征在于：

所述气味敏感单元包含按照阵列排布的若干气敏型金属氧化物薄膜（4），且各薄膜为尺寸参数各异的同种气敏型金属氧化物，各薄膜上分别设有两个用于与数据采集设备连接的电极（5），气味敏感单元和感温单元（2）设置于半导体基底（1）的上表面；半导体基底（1）的下表面采用MEMS 加工工艺将正对气味敏感单元的位置处进行腐蚀，形成凹槽，半导体基底（1）的纵截面呈桥式结构，加热单元（3）设置于凹槽底部，采用铂丝作为加热单元（3）的加热电阻；感温单元（2）设置于气味敏感单元的旁边，采用SiC薄膜实现；气味敏感单元上设置气体渗透性薄膜，且气体渗透性薄膜采用SiO2 薄膜。