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专利号: 2011100329636
申请人: 常州大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2025-03-12
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.纳米硅/单晶硅异质结径向纳米线太阳电池的制备方法,所述异质结径向纳米线电池结构从里至外依次为:n型单晶硅纳米线、p型纳米硅层、氧化铝钝化层、氧化锌导电层或n型单晶硅纳米线、i型纳米硅层、p型纳米硅层、氧化铝钝化层、氧化锌导电层;p型纳米硅层厚度3~6 nm,光学带隙1.7~1.9 eV,i型纳米硅厚度10~20 nm;其特征在于所述制备方法具体为:利用湿法腐蚀工艺在n型单晶硅片的正面制备n型单晶硅纳米线后,利用PECVD在硅纳米线上生长p型纳米硅层或i型和p型纳米硅层,再利用原子层沉积技术在p型纳米硅层沉积一层1~5nm厚的氧化铝层;利用原子层沉积技术在氧化铝上再沉积一层10~20 nm-3 -2厚的掺铝氧化锌层,掺铝氧化锌层即为氧化锌导电层,其电阻率为1×10 ~1×10 Ωcm;在o未生长纳米线的n型单晶硅片背面真空蒸镀铝,最后快速退火处理:退火温度400~500C, 氮气氛保护,退火时间10~30min。

2.如权利要求1所述的纳米硅/单晶硅异质结径向纳米线太阳电池的制备方法,其特征在于:所述n型单晶硅片的电阻率为0.5~30Ωcm,厚度为150~220μm。

3.如权利要求1所述的纳米硅/单晶硅异质结径向纳米线太阳电池的制备方法,其特征在于:所述的氧化铝钝化层的厚度为1~5 nm。

4.如权利要求1所述的纳米硅/单晶硅异质结径向纳米线太阳电池的制备方法,其特-3 -2

征在于:所述的氧化锌导电层的厚度为10~20 nm,电阻率1×10 ~1×10 Ωcm。