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基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法
已下证
发明专利
2022-06-02
暂无
¥14000
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两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台
已下证
发明专利
2022-05-26
暂无
¥50000
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一种B掺杂SiC纳米线大应变系数高灵敏压力传感器
已下证
发明专利
2022-05-26
暂无
¥35000
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基于柔性铰链放大的压电微动平台
已下证
发明专利
2022-05-26
暂无
¥35000
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两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台
已下证
发明专利
2022-05-26
暂无
¥50000
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多级联动输出的并联微动平台
已下证
发明专利
2022-05-26
暂无
¥50000
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一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法
已下证
发明专利
2022-05-26
暂无
¥35000
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一种控制硅基微结构内部空腔形成位置的研究方法
已下证
发明专利
2022-06-24
暂无
¥15000
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两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台
已下证
发明专利
2022-05-26
暂无
¥50000
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一种用于制备纳米层状复合材料的模具及方法
授权未缴费
发明专利
2022-06-12
暂无
¥23000
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一种两平动一转动三自由度并联柔性结构压电微动平台
已下证
发明专利
2022-05-26
暂无
¥35000
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一种直径小于10nm的玻璃纳米孔、制备方法及其用于检测DNA的应用
已下证
发明专利
2022-05-23
2022-07-21(5)
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