1.一种柔性线路板中air-gap结构的加工方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)将待air-gap加工的基板表面进行酸洗处理,所述基板表面加工有覆盖膜,在所述覆盖膜位于待加工air-gap区域的表面丝印湿膜并热固化处理;
(2)对未覆盖有所述湿膜的覆盖膜表面进行真空等离子;
(3)在所述覆盖膜位于不加工air-gap区域的表面贴上热压胶,再将铜箔贴附在所述热压胶和湿膜表面,在180℃以下温度进行高温压合并烘干,从而在所述覆盖膜表面固定形成底铜;
(4)在所述基板的底铜上进行镭射钻孔,以形成盲孔,随后进行电镀与减铜处理,从而在所述底铜表面形成镀铜层;
(5)在所述镀铜层表面贴干膜,按照内层线路图案进行曝光,显影去除未曝光的干膜,将未覆盖有干膜的镀铜层和底铜蚀刻去除,暴露出湿膜,随后采用褪膜液将已曝光的干膜和湿膜分解去除,即在柔性线路板上加工得到air-gap结构。
2.如权利要求1所述的柔性线路板中air-gap结构的加工方法,其特征在于,在步骤(1)中,酸洗处理为采用酸溶液处理,所述酸溶液包括质量分数3wt%-7wt%的硫酸,酸洗时间为30-50s。
3.如权利要求1所述的柔性线路板中air-gap结构的加工方法,其特征在于,在步骤(1)中,丝印湿膜时的丝印速度为200-220mm/s,刮刀速度为70-80°,刮刀压力为30-40kgf,热固化温度为120-130℃,热固化时间为30-40min。
4.如权利要求1所述的柔性线路板中air-gap结构的加工方法,其特征在于,在步骤(1)中,所述覆盖膜上丝印湿膜的区域边缘与贴有热压胶的区域相隔0.5-2mm,且所述覆盖膜上丝印湿膜区域的面积小于待加工air-gap区域的面积;
和/或,在步骤(3)中,所述湿膜的厚度与热压胶的厚度相同。
5.如权利要求1所述的柔性线路板中air-gap结构的加工方法,其特征在于,在步骤(2)中,真空等离子处理的功率为6000-7000W,处理压力为0.1-0.25torr,处理时间为2-5min,处理温度为60-70℃,02流量为2000-2400sccm,CF4流量为230-270sccm,N2流量为240-280sccm。
6.如权利要求1所述的柔性线路板中air-gap结构的加工方法,其特征在于,在步骤(3)中,高温压合并烘干的温度为100-180℃,压力为7-45kg/cm2,处理时间为155-170min。
7.如权利要求1所述的柔性线路板中air-gap结构的加工方法,其特征在于,在步骤(5)中,所述褪膜液包括当量浓度为0.3-0.9N的氢氧化物,所述氢氧化物为氢氧化钾和/或氢氧化钠。
8.如权利要求1所述的柔性线路板中air-gap结构的加工方法,其特征在于,在步骤(5)中,采用蚀刻液将未覆盖有干膜的镀铜层和底铜蚀刻去除,所述蚀刻液包括浓度120-160g/L的铜离子、20-45g/L的氯酸钠和当量浓度为1.7-2.2N的盐酸。
9.如权利要求1所述的柔性线路板中air-gap结构的加工方法,其特征在于,在步骤(1)中,所述湿膜在180℃温度下耐受5h。
10.如权利要求1所述的柔性线路板中air-gap结构的加工方法,其特征在于,待air-gap加工的所述基板包括PI基板,所述PI层基板的双面均依次设置有第一铜层和第二铜层,所述第一铜层和第二铜层均包括依次层叠的底铜和镀铜层,所述第一铜层和第二铜层之间依次层叠设置有热压胶层和PI层,所述第二铜层的表面设置有覆盖膜。