1.一种磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置,其特征在于,包括:
基座(1);
所述基座(1)的内部设有可用于放置芯片的载物台(2),所述基座(1)顶端固定连接有探针检测单元(3),且该探针检测单元(3)设有两组并沿基座(1)中心呈对称分布;
其中,所述载物台(2)包括安装座(21),所述基座(1)通过设置在其内部的平移单元(4)与安装座(21)底部相连接,所述安装座(21)通过开设在其外表面的导向槽滑动连接有移动架(22),且该移动架(22)顶部固定连接有放置座(23),所述放置座(23)内设有可用于校正芯片位置的调节件(24),所述安装座(21)和所述放置座(23)的相邻面分别固定连接有磁性件(25);
其中,所述磁性件(25)启动时,所述安装座(21)与所述放置座(23)内的磁性件(25)呈现相同极性,使所述放置座(23)沿所述安装座(21)的中心轴线上移并处于磁悬浮状态。
2.根据权利要求1所述的一种磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置,其特征在于:所述基座(1)通过设置在其顶部的安装支架可拆卸安装有用于观察芯片电路的显微镜(5),且该显微镜(5)设于放置座(23)的正上方。
3.根据权利要求1所述的一种磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置,其特征在于:所述放置座(23)通过设置在其顶部的安装腔固定连接有与外界真空泵相连通的真空吸盘(26),且该真空吸盘(26)设有多个并沿放置座(23)的中心轴线呈圆周阵列分布。
4.根据权利要求1所述的一种磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置,其特征在于:所述调节件(24)包括开设在放置座(23)顶部的滑孔(241),且该滑孔(241)设有多个并沿放置座(23)的中心呈圆周阵列分布,所述滑孔(241)内滑动连接有滑块(242),且该滑块(242)靠近芯片一侧固定连接有气囊(243)。
5.根据权利要求4所述的一种磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置,其特征在于:所述滑块(242)底部转动连接有活动板(244),所述放置座(23)通过设置在其底部的支板(245)固定连接有贯穿活动板(244)内部的转轴(246),且该转轴(246)的外表面套设有扭簧(247),所述扭簧(247)设有两个并沿转轴(246)的中心左右对称分布。
6.根据权利要求1所述的一种磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置,其特征在于:所述移动架(22)通过开设在其内部的导向孔滑动连接有与活动板(244)外侧相贴合的活动杆(248),且该活动杆(248)靠近安装座(21)一侧呈斜面设计,所述安装座(21)的外表面固定连接有与活动杆(248)斜面相贴合的楔块(211),且该楔块(211)的外侧嵌合安装有滚轴,且该滚轴设有多个并沿楔块(211)的斜面呈阵列分布。
7.根据权利要求1所述的一种磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置,其特征在于:所述放置座(23)内部靠近滑孔(241)一侧设有相互连通的气流通道(231)和活塞腔(232),所述活塞腔(232)内部滑动连接有与滑块(242)外侧相贴合的活塞块(233),且该活塞块(233)通过设置在其外侧的弹性件与活塞腔(232)内壁相连接,所述气流通道(231)输出端固定连接有与气囊(243)相互连通的软管(234)。