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专利号: 2025101809967
申请人: 西安理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2026-04-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,包括:

从物侧向像侧沿光轴(B1)依次排列的具有正光焦度、且凹面朝向像面的第一透镜(A1),具有负光焦度、且凸面朝向物面的第二透镜(A2),由第一子透镜(A31)和第二子透镜(A32)组成的具有负光焦度的第三透镜(A3),由第三子透镜(A41)和第四子透镜(A42)组成的具有负光焦度的第四透镜(A4),具有正光焦度、且双凸面的第五透镜(A5),具有正光焦度、且凹面朝向像面的第六透镜(A6);

所述第一子透镜(A31)具有凹物面和凹像面并且具有负光焦度,第二子透镜(A32)具有凸物面和凸像面并且具有正光焦度,第三子透镜(A41)具有平物面和凹像面并且具有负光焦度,第四子透镜(A42)具有凸物面和凸像面并且具有正光焦度;

所述第三透镜(A3)与所述第四透镜(A4)均为双胶合透镜;

第一透镜的光焦度为Φ1,第二透镜的光焦度为Φ2,第三透镜的光焦度为Φ3,第四透镜的光焦度为Φ4,第五透镜的光焦度为Φ5,第六透镜的光焦度为Φ6,整个显微镜物镜的光焦度为Φ,满足如下关系:0.1≤Φ≤0.5;

其中,所述显微镜物镜的光学总长,即TTL≤55mm,且所述第一透镜的光焦度Φ1与整个显微镜物镜的光焦度Φ,满足如下关系:0.56≤Φ1/Φ≤0.64。

2.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第二透镜的光焦度Φ2与整个显微镜物镜的光焦度Φ,满足如下关系:-0.74≤Φ2/Φ≤-0.53。

3.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第三透镜的光焦度Φ3与整个显微镜物镜的光焦度Φ,满足如下关系:-0.42≤Φ3/Φ≤-0.2。

4.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第四透镜的光焦度Φ4与整个显微镜物镜的光焦度Φ,满足如下关系:-0.1≤Φ4/Φ≤-0.056。

5.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第五透镜的光焦度Φ5与整个显微镜物镜的光焦度Φ,满足如下关系:0.74≤Φ5/Φ≤1.05。

6.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第六透镜的光焦度Φ6与整个显微镜物镜的光焦度Φ,满足如下关系:0.12≤Φ6/Φ≤0.25。

7.根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第一子透镜的折射率为n31,所述第二子透镜的折射率为n32,满足如下关系:0.04≤|n31-n32|≤0.1。

8.根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第三子透镜的折射率为n3,所述第四子透镜的折射率为n4,满足如下关系:0.12≤|n3-n4|≤0.3。

9.根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第一子透镜的阿贝数为Vd31,所述第二子透镜的阿贝数为Vd32,满足如下关系:23≤|Vd31-Vd32|≤45。

10.根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第三子透镜的阿贝数为Vd41,所述第四子透镜的阿贝数为Vd42,满足如下关系:35≤|Vd41-Vd42|≤40。