欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13336804447 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13336804447
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2024221306571
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2025-07-09
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种适用于大尺寸单晶硅的单晶炉盖,其特征在于,包括:盖体、第一布水环、第二布水环、冷却管、炉颈筒体和法兰,所述法兰同心设置在盖体的底部边缘,所述炉颈筒体同心设置在盖体的顶部,所述第一布水环同心设置在法兰上,所述第二布水环同心设置在炉颈筒体的外壁上,所述冷却管环形阵列设置在盖体的外壁上,并连接在第一布水环与第二布水环之间。

2.根据权利要求1所述的适用于大尺寸单晶硅的单晶炉盖,其特征在于,所述盖体采用圆弧形结构,所述冷却管采用与盖体外壁对应的弧形空心方管。

3.根据权利要求1所述的适用于大尺寸单晶硅的单晶炉盖,其特征在于,所述第一布水环的内圈与盖体底部的外壁相接触。

4.根据权利要求1所述的适用于大尺寸单晶硅的单晶炉盖,其特征在于,所述第一布水环中设置有第一环形水腔,所述第一布水环顶部间隔设置有连通冷却管与第一环形水腔的进水孔,所述第一布水环外侧设置有与第一环形水腔连通的进水管接头安装螺纹孔。

5.根据权利要求1所述的适用于大尺寸单晶硅的单晶炉盖,其特征在于,所述第二布水环中设置有第二环形水腔,所述第二布水环外侧面间隔设置有连通冷却管与第二环形水腔的出水孔,所述第二布水环上设置有与第二环形水腔连通的出水管接头安装螺纹孔。

6.根据权利要求1所述的适用于大尺寸单晶硅的单晶炉盖,其特征在于,所述第二布水环的底部与盖体顶部的外壁相接触。

7.根据权利要求1所述的适用于大尺寸单晶硅的单晶炉盖,其特征在于,所述冷却管与盖体外壁焊接固定。