1.一种四氯化硅提纯储罐,包括存储机构(1)和防护机构(2),其特征在于:所述防护机构(2)固定连接于存储机构(1)的表面;
所述防护机构(2)包括泄漏监测单元和应急处理单元,所述泄漏监测单元固定连接于存储机构(1)的表面,所述应急处理单元固定连接于存储机构(1)的侧面。
2.根据权利要求1所述的一种四氯化硅提纯储罐,其特征在于:所述存储机构(1)由连接底板(101)、安装耳(102)、外部防护罐(103)、加热提纯罐(104)、装填管(105)和压力阀(106)组成,所述安装耳(102)固定连接于连接底板(101)的侧面,所述外部防护罐(103)固定连接于连接底板(101)的顶部,所述加热提纯罐(104)固定连接于外部防护罐(103)的内部,所述装填管(105)固定连接于加热提纯罐(104)的侧面并延伸至外部防护罐(103)外侧,所述压力阀(106)固定连接于装填管(105)的表面。
3.根据权利要求2所述的一种四氯化硅提纯储罐,其特征在于:所述泄漏监测单元由紧急排放管(201)、第一电控阀门(202)、常规排放管(203)、第一泄漏检测传感器(204)、第二电控阀门(205)和第二泄漏检测传感器(206)组成,所述紧急排放管(201)固定连接于加热提纯罐(104)的侧面并延伸至外部防护罐(103)外侧,所述第一电控阀门(202)固定连接于紧急排放管(201)的侧面,所述常规排放管(203)固定连接于加热提纯罐(104)的底部并延伸至外部防护罐(103)底侧,所述第一泄漏检测传感器(204)固定连接于加热提纯罐(104)与常规排放管(203)的连接端,所述第二电控阀门(205)固定连接于常规排放管(203)的底侧,所述第二泄漏检测传感器(206)固定连接于外部防护罐(103)的侧面,并延伸至外部防护罐(103)的内侧。
4.根据权利要求3所述的一种四氯化硅提纯储罐,其特征在于:所述应急处理单元由惰性气罐(211)、填充口(212)、导流泵(213)和导入管(214)组成,所述惰性气罐(211)固定连接于连接底板(101)的顶部,所述填充口(212)固定连接于惰性气罐(211)的顶部,所述导流泵(213)固定连接于惰性气罐(211)的顶部,所述导入管(214)固定连接于导流泵(213)和加热提纯罐(104)之间。
5.根据权利要求4所述的一种四氯化硅提纯储罐,其特征在于:所述导流泵(213)、第一电控阀门(202)和第二电控阀门(205)电性连接于第一泄漏检测传感器(204)和第二泄漏检测传感器(206)。
6.根据权利要求5所述的一种四氯化硅提纯储罐,其特征在于:所述外部防护罐(103)的内部设置有保温材料。
7.根据权利要求6所述的一种四氯化硅提纯储罐,其特征在于:所述外部防护罐(103)和加热提纯罐(104)之间设置有密封的空腔。