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专利号: 2024213982854
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2025-04-21
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种芯片车间层流洁净室,其特征在于,包括洁净室本体(1)、静压差平衡机构(2)和扰流机构(3),所述洁净室本体(1)上构造有进风口(11)、出风口(12)与回风口(13),所述进风口(11)、所述出风口(12)与所述回风口(13)上均安装有过滤网(14),所述进风口(11)与所述回风口(13)的内部均设置有抽风扇(15),所述静压差平衡机构(2)的数量为两个且分别设置在所述进风口(11)与所述回风口(13)的内部,所述扰流机构(3)设置在所述洁净室本体(1)的内部,所述洁净室本体(1)的内部设置有若干个气压传感器(16),若干个所述气压传感器(16)的高度不同。

2.根据权利要求1所述的一种芯片车间层流洁净室,其特征在于,所述进风口(11)与所述回风口(13)上均安装有通风管道(17),所述抽风扇(15)与所述静压差平衡机构(2)均设置在所述通风管道(17)的内部,所述静压差平衡机构(2)包括通风板(21)、调节板(22)和调节件(23),所述通风板(21)固定在所述通风管道(17)的内部,所述通风板(21)上贯穿开设有若干个呈阵列分布的通风口(24),所述调节板(22)活动设置在所述通风管道(17)的内部且与所述通风板(21)贴合,所述调节板(22)上贯穿开设有若干个连通口(25),若干个所述连通口(25)与若干个所述通风口(24)一一对应,所述调节件(23)用于控制所述调节板(22)沿着所述通风板(21)的一侧滑动。

3.根据权利要求2所述的一种芯片车间层流洁净室,其特征在于,所述调节件(23)包括安装在所述通风管道(17)上的电机一(231),所述电机一(231)的输出端上固定有螺纹杆(232),所述调节板(22)上固定有螺纹套设在所述螺纹杆(232)上的控制板(221)。

4.根据权利要求1所述的一种芯片车间层流洁净室,其特征在于,所述扰流机构(3)包括固定在所述洁净室本体(1)内壁上的安装架(31),所述安装架(31)上转动安装有转动杆(32),所述转动杆(32)上固定有若干个呈阵列分布的扰流叶片(33),所述安装架(31)上安装有输出端与所述转动杆(32)其中一端固定连接的电机二(34)。

5.根据权利要求1所述的一种芯片车间层流洁净室,其特征在于,所述洁净室本体(1)的顶部设置有太阳能板(18),所述洁净室本体(1)的内部设置有可充放电的蓄电池(19),所述太阳能板(18)通过逆变器与所述蓄电池(19)电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种芯片车间层流洁净室,其特征在于,所述过滤网(14)为HEPA过滤器。