1.一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具,包括底座,其特征在于:底座的顶部外壁转动连接有通道三,通道三的顶部外壁转动连接有通道四,通道四的顶部外壁固定连接有通气筒,通气筒的内壁滑动连接有密封滑板一,密封滑板一的内壁滑动连接有固定环板,固定环板通过设置的连杆与通气筒的内壁固定连接,固定环板的顶部外壁固定连接有主吸板,主吸板的外壁滑动连接有安装环一,安装环一的底部外壁固定连接有传动齿环,传动齿环的外壁啮合有齿轮五,齿轮五的外壁固定连接有电机二,电机二的外壁固定连接有固定板五,固定板五的外壁与主吸板的底部固定连接,固定环板的内部设置有通道五,通道五与主吸板的底部外壁固定连接,通道五的内壁滑动连接有浮子,浮子的内壁开设有若干均匀分布的气口一,浮子的下方开设有三个均匀分布的气口二,通道五的外壁连通有两个呈对称分布的通道六,两个通道六远离通道五的一端均固定连接有连接口二,密封滑板一的外壁转动连接有安装环二,两个通道六的下方设置有同一个转动环一,转动环一与通气筒的外壁转动连接,主吸板的底部外壁固定连接有圆形安装板,圆形安装板的内壁滑动连接有两个限位保护杆,圆形安装板的外壁开设有四个气口三,圆形安装板的外壁转动连接有环形通道一,环形通道一的外壁固定连接有两个呈对称分布的通气管一,安装环一的外壁设置有两个呈圆周阵列分布的两用机构,两用机构包括副吸板、滑杆一、第一轴杆、安装块一、电机一、连接口一、第一轴杆和齿柱。
2.根据权利要求1所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具,其特征在于:滑杆一与安装环一的内壁滑动连接,滑杆一的底部外壁与安装块一固定连接,第一轴杆的顶端与安装块一的内壁转动连接,第一轴杆的底端与滑杆一的内壁转动连接,齿柱固定连接在第一轴杆的外壁,电机一固定连接在安装块一的外壁,电机一的输出轴与副吸板固定连接,连接口一与副吸板固定连接,副吸板的底部外壁开设有若干均匀分布的吸气口。
3.根据权利要求2所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具,其特征在于:两个齿柱的外壁均设置有转动机构,两个转动机构呈圆周阵列分布,转动机构包括齿轮三、第二锥齿轮、第一锥齿轮、安装板二、安装板三、齿轮六、第二齿条和连接杆二,齿轮三的外壁与齿柱啮合,第二锥齿轮与齿轮三固定连接,齿轮三与安装板二转动连接,第二锥齿轮的外壁与第一锥齿轮啮合,第一锥齿轮的外壁与齿轮六固定连接,齿轮六与安装板三转动连接,安装板三与安装板二固定连接,第二齿条与齿轮六啮合,连接杆二与第二齿条固定连接,第二齿条与安装板三滑动连接。
4.根据权利要求3所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具,其特征在于:两个安装板二均与转动环一固定连接,两个连接杆二均与转动环一固定连接,两个滑杆一的底部外壁均滑动连接有Y型滑杆,两个Y型滑杆的外壁均滑动连接有通道二,两个通道二均与通道三相连通,通道三与通道四相连通,通道四与风机相连通,风机与通气筒相连通,通道四的外壁固定连接有两个密封圈。
5.根据权利要求4所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具,其特征在于:通气筒的外壁固定连接有两个呈对称分布的切换机构,切换机构包括安装板一、齿轮一、托杆、连接杆一、密封板一和密封板二,安装板一与通气筒的外壁固定连接,齿轮一与安装板一转动连接,托杆与安装板一滑动连接,托杆与齿轮一的外壁啮合。
6.根据权利要求5所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具,其特征在于:托杆的外壁与连接杆一固定连接,密封板一与连接杆一固定连接,密封板二与密封板一固定连接。
7.根据权利要求4所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具,其特征在于:通气管一远离圆形安装板的一端与通道三相连通,两个Y型滑杆之间固定连接有拉簧。
8.根据权利要求1所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具,其特征在于:安装环一的外壁固定连接有两个呈圆周阵列分布的传动齿条一,浮子的底部外壁固定连接有两个呈对称分布的连接杆四,连接杆四远离浮子的一端与密封滑板一固定连接。