欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13336804447 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13336804447
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2024109869622
申请人: 南京耶拿光电技术有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2026-01-14
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种多室连续光学镀膜机,所述多室连续光学镀膜机包括:

镀膜机体(1),所述镀膜机体(1)包括外壳体(11)、镀膜机座(12)、观察窗(14),所述外壳体(11)固定安装在镀膜机座(12)上,外壳体(11)的侧壁安装有观察窗(14),外壳体(11)的一侧设置有进料口(111),外壳体(11)内依次设置有基材净化腔(112)以及光学镀膜腔(113);

基材承托机构(3),其特征在于,所述基材承托机构(3)用于承托并固定不同规格的光学镀膜基材;

连续送料组件(4),所述连续送料组件(4)设置在所述外壳体(11)内,且连续送料组件(4)贯穿所述基材净化腔(112)以及光学镀膜腔(113),并与所述基材承托机构(3)连接;

光学镀膜组件(2),所述光学镀膜组件(2)设置在所述光学镀膜腔(113)内,光学镀膜组件(2)用于对基材进行光学镀膜;

其中,所述基材承托机构(3)包括:

角度调节电机(31),所述角度调节电机(31)与连续送料组件(4)连接;

与角度调节电机(31)固定连接的基材承托盘(32);

基材限位部(33),所述基材限位部(33)设置在所述基材承托盘(32)内,且基材限位部(33)用于对基材进行限位锁定;

联动调节部(34),所述联动调节部(34)设置在所述光学镀膜腔(113)内,且联动调节部(34)分别与基材承托盘(32)以及光学镀膜组件(2)连接,联动调节部(34)用于调节所述光学镀膜组件(2)的镀膜位置。

2.如权利要求1所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述连续送料组件(4)包括:送料电机(41),所述送料电机(41)固定安装在所述镀膜基座上;

与送料电机(41)输出端固定连接的送料螺杆(42),所述送料螺杆(42)远离所述送料电机(41)的一端延伸至基材净化腔(112)以及光学镀膜腔(113)内,并与外壳体(11)的侧壁转动连接;

滑动送料座(43),所述滑动送料座(43)螺纹套设在所述送料螺杆(42)的外壁,且滑动送料座(43)与角度调节电机(31)固定连接;

至少一组送料导向槽(44),所述送料导向槽(44)开设在所述外壳体(11)的底部,且送料导向槽(44)与滑动送料座(43)之间滑动连接。

3.如权利要求2所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述镀膜机体(1)还包括:原料储存罐(13),所述原料储存罐(13)固定安装在所述外壳体(11)的上表面,原料储存罐(13)用于向光学镀膜组件(2)供应镀膜材料;

镀膜控制器(15),所述镀膜控制器(15)可拆卸安装在所述外壳体(11)的上表面,且镀膜控制器(15)分别与所述送料电机(41)以及角度调节电机(31)电性连接。

4.如权利要求1所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述基材限位部(33)包括:限位电机,所述限位电机固定安装在所述基材承托盘(32)内;

与限位电机输出端固定连接的限位齿盘(332),所述限位齿盘(332)转动设置在所述基材承托盘(32)内;

至少一组第一齿轮(333),所述第一齿轮(333)转动安装在基材承托盘(32)上,第一齿轮(333)与限位齿盘(332)之间啮合传动。

5.如权利要求4所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述基材限位部(33)还包括:限位螺杆(334),所述限位螺杆(334)与第一齿轮(333)的一端固定连接;

螺纹套设在所述限位螺杆(334)外壁上的承托螺纹座(335),所述承托螺纹座(335)的底部设置有承托定位座(331),承托定位座(331)固定安装在基材承托盘(32)上,承托定位座(331)与承托螺纹座(335)之间滑动连接;

基材限位板(336),所述基材限位板(336)可拆卸安装在所述承托螺纹座(335)上,基材限位板(336)用于夹持锁定不同规格的基材。

6.如权利要求4所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述联动调节部(34)包括:联动齿圈(341),所述联动齿圈(341)固定套设在所述基材承托盘(32)的外壁;

第二齿轮(342),所述第二齿轮(342)设置在联动齿圈(341)的一侧,且第二齿轮(342)与所述联动齿圈(341)之间啮合传动;

齿轮连杆(343),所述齿轮连杆(343)固定安装在所述第二齿轮(342)的上表面,且齿轮连杆(343)与外壳体(11)的侧壁转动连接。

7.如权利要求6所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述联动调节部(34)还包括:第三齿轮(344),所述第三齿轮(344)与齿轮连杆(343)的端部固定连接;

联动齿座(345),所述联动齿座(345)套设在所述第三齿轮(344)的外部,且联动齿座(345)与所述第三齿轮(344)之间啮合传动,联动齿座(345)与光学镀膜组件(2)可拆卸连接;

齿座导向板(346),所述齿座导向板(346)固定安装在所述外壳体(11)的侧壁上,齿座导向板(346)与联动齿座(345)滑动连接。

8.如权利要求1所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述光学镀膜组件(2)包括:镀膜送料管(21),所述镀膜送料管(21)设置在所述光学镀膜腔(113)内,镀膜送料管(21)的一端与原料储存罐(13)连通;

蒸镀成膜座(22),所述蒸镀成膜座(22)与镀膜送料管(21)连通,且蒸镀成膜座(22)用于将镀膜材料加热到蒸发温度,且蒸镀成膜座(22)内置加热电阻丝、电子枪蒸发器,蒸镀成膜座(22)还与联动齿座(345)之间可拆卸连接;

至少一组磁控溅射管(23),所述磁控溅射管(23)可拆卸安装在蒸镀成膜座(22)的底部。

9.如权利要求6-8任一所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:还包括:基材吹扫组件(5),所述基材吹扫组件(5)设置在基材净化腔(112)内,基材吹扫组件(5)用于对基材表面进行净化吹扫;

其中,所述基材吹扫组件(5)包括:

吹扫承托座(52),所述吹扫承托座(52)固定安装在所述基材净化腔(112)内;

吹扫电机(51),所述吹扫电机(51)固定安装在所述吹扫承托座(52)的上表面;

吹扫联动部(53),所述吹扫联动部(53)设置在所述吹扫承托座(52)内;

与吹扫联动部(53)连接的基材吹扫部(54),所述基材吹扫部(54)包括吹扫风机(541)以及至少一组吹扫负压管(542),所述吹扫负压管(542)固定安装在吹扫风机(541)的下表面,且吹扫负压管(542)与所述吹扫风机(541)导通。

10.如权利要求9所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述吹扫联动部(53)包括:内齿圈(533),所述内齿圈(533)固定安装在所述吹扫承托座(52)内;

联动摆臂(531),所述联动摆臂(531)设置在吹扫承托座(52)内,联动摆臂(531)的一端与吹扫电机(51)的输出端固定连接;

第四齿轮(532),所述第四齿轮(532)转动安装在联动摆臂(531)的端部,第四齿轮(532)与所述内齿圈(533)之间啮合传动,且第四齿轮(532)与吹扫风机(541)之间可拆卸连接。